[发明专利]下料位置调整装置在审
| 申请号： | 201910158654.X | 申请日： | 2019-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN109872963A | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 陆彦辉 | 申请（专利权）人： | 苏州润阳光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/68;H01L21/683;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅片 下料位置 传送装置 调整装置 传感器 夹持装置 夹持 指令 传感器监测 电性连接 硅片移动 夹持气缸 有效减少 控制夹 气体量 堵片 划伤 跑偏 宕机 花篮 卡片 传送 | ||
1.一种下料位置调整装置，用于调整一硅片进入载体花篮时的位置，其特征在于，该装置包括：
传送装置，传送其上的硅片；
传感器，其监测该硅片的位置，并当该硅片到达一指定位置时，该传感器发出夹持指令；
夹持装置，电性连接该传感器，接收该夹持指令并控制夹持该硅片，使该硅片移动至适合的下料位置。
2.根据权利要求1所述的下料位置调整装置，其特征在于，该夹持装置包括第一导向条和第二导向条。
3.根据权利要求2所述的下料位置调整装置，其特征在于，该第一导向条和第二导向条相向运动时，该夹持装置夹持该硅片，该第一导向条和第二导向条反相向运动时，该夹持装置松开该硅片。
4.根据权利要求3所述的下料位置调整装置，其特征在于，该夹持装置夹持该硅片时，该第一导向条和第二导向条之间的距离为该硅片的长度。
5.根据权利要求4所述的下料位置调整装置，其特征在于，该夹持装置松开该硅片时，该第一导向条和第二导向条之间的距离大于该硅片的长度。
6.根据权利要求4或5任一项所述的下料位置调整装置，其特征在于，该夹持装置经由一气缸供气实现夹持或松开该硅片。
7.根据权利要求6所述的下料位置调整装置，其特征在于，该气缸经由一电磁阀的通断实现供气，气体量越大，该夹持装置的夹持速度越快。
8.根据权利要求7所述的下料位置调整装置，其特征在于，该第一导向条和第二导向条上设有多个导向滑轮。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州润阳光伏科技有限公司，未经苏州润阳光伏科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910158654.X/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
