[发明专利]大口径楔板光学元件超精密复合成形磨削装置及加工方法

权利要求书

1.大口径楔板光学元件超精密复合成形磨削装置，其特征在于，包括：

床身(1)，

X方向传动机构(2)，所述X方向传动机构(2)沿X轴方向固定于所述床身(1)上；

工作台(3)，所述工作台(3)沿X轴方向与所述X方向传动机构(2)可滑动连接；

真空吸盘(4)，所述真空吸盘(4)固定于所述工作台(3)顶部，用于吸附固定元件；

Y方向传动机构(5)，所述Y方向传动机构(5)沿Y轴方向固定于所述床身(1)上；

Z方向传动机构(6)，所述Z方向传动机构(6)沿Y轴方向可滑动于所述Y方向传动机构(5)上；

B轴旋转机构(7)，所述B轴旋转机构(7)一端沿Z轴方向可滑动于所述Z轴方向传动机构(6)上；

主轴机构(9)，所述主轴机构(9)一端固定于所述B轴旋转机构(7)另一端，且其轴线与所述B轴旋转机构(7)轴线垂直；所述主轴机构(9)另一端绕Y轴方向可摆动，

磨削部(8)，所述磨削部(8)固定于所述主轴机构(9)另一端上，且与所述工作台(3)位置对应；

控制系统，所述X方向传动机构(2)、所述真空吸盘(4)、所述Y方向传动机构(5)、所述Z方向传动机构(6)、所述B轴旋转机构(7)及所述主轴机构(9)均与所述控制系统电性连接。

2.根据权利要求1所述的大口径楔板光学元件超精密复合成形磨削装置，其特征在于，所述床身(1)包括X轴方向床体和Y方向床体，所述X轴方向床体和所述Y方向床体构成T字形，所述X方向传动机构(2)固定于所述X轴方向床体上，所述Y方向传动机构(5)固定于所述Y方向床体上。

3.根据权利要求2所述的大口径楔板光学元件超精密复合成形磨削装置，其特征在于，所述X方向传动机构(2)包括X轴导轨(21)、X轴滑块(22)、X轴伺服电机(23)、X轴同步带组件(24)、X轴丝杠(25)及X轴丝杠螺母；

所述X轴导轨(21)固定于所述X轴方向床体上；

所述X轴滑块(22)连接于所述工作台(2)上，且其底部与所述X轴导轨(21)可滑动连接；

所述X轴伺服电机(23)固定于所述X轴方向床体上，与所述控制系统电性连接，其输出端通过所述X轴同步带组件(24)带动X轴丝杠(25)转动；

所述X轴丝杠螺母套接于所述X轴丝杠(25)上，且固定于所述工作台(2)底部。

4.根据权利要求2所述的大口径楔板光学元件超精密复合成形磨削装置，其特征在于，所述Y方向传动机构(5)包括Y轴导轨(51)、Y轴滑块(52)、Y轴伺服电机(53)、Y轴同步带组件(54)、Y轴丝杠(55)及Y轴丝杠螺母；

所述Y轴导轨(51)固定于所述Y方向床体上；

所述Y轴滑块(52)连接于所述Z方向传动机构(6)，且其底部与所述Y轴导轨(51)可滑动连接；

所述Y轴伺服电机(53)固定于所述Y方向床体上，与所述控制系统电性连接，其输出端通过所述Y轴同步带组件(54)带动Y轴丝杠(55)转动；

所述Y轴丝杠螺母套接于所述Y轴丝杠(55)上，且固定于所述Z方向传动机构(6)底部。

5.根据权利要求4所述的大口径楔板光学元件超精密复合成形磨削装置，其特征在于，所述Z方向传动机构(6)包括Z轴基座、Z轴立柱、Z轴导轨(61)、Z轴滑块(62)、Z轴伺服电机(63)、Z轴同步带组件、Z轴丝杠及Z轴丝杠螺母；

所述Z轴基座底部固定所述Y轴丝杠螺母，且沿Y轴可滑动连接；

所述Z轴立柱与所述Z轴基座一体连接；

所述Z轴导轨(61)固定于所述Z轴立柱上；

所述Z轴滑块(62)连接于所述B轴旋转机构(7)，且其底部与所述Z轴导轨(61)可滑动连接；

所述Z轴伺服电机(63)固定于所述Z轴立柱上，与所述控制系统电性连接，其输出端通过所述Z轴同步带组件带动Z轴丝杠转动；

所述Z轴丝杠螺母套接于所述Z轴丝杠上，且固定于所述B轴旋转机构(7)一侧。