[发明专利]一种高精度微孔的加工方法和装置

权利要求书

1.一种高精度微孔的加工方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1) 调配打孔电解液，将针头及加工材料分别固定在升降平台及X-Y移动平台上，通过推挤泵将电解液通入针头内，定位打孔位置；

(2) 控制针头尖端的电解液形成微型液珠并与材料表面接触，通过调整针头尖端与加工材料表面的距离、微型液珠尺寸，借助显微镜测量功能，使接触面尺寸等于打孔尺寸；

(3) 在针头内部与加工材料两端负载恒流电压，使接触部位与针头内部分别发生氧化反应、还原反应，微型液珠与加工材料接触部分发生电解腐蚀；

(4) 随着腐蚀深度加深，控制针头尖端与不同腐蚀层面的距离保持不变，并调节推挤泵对微型液珠进行反馈补偿，使微型液珠内部浓度趋于平衡，液珠尺寸保持稳定，进而完成整个微孔加工过程；

步骤(2)中，微型液珠呈球形，所配的电解液在加工材料上表现较弱的润湿性，进而电解液在材料表面形成的接触面为圆形；调整针头尖端与加工材料表面的距离等于打孔直径。

2.根据权利要求1所述的精度微孔的加工方法，其特征在于，其采用的高精度微孔的加工装置，包括升降平台、推挤泵、X-Y移动平台，升降平台设置于X-Y移动平台上方；

所述升降平台设有固定卡、管体、针头和封盖，管体固设于固定卡内，针头设置于管体下端，管体上端连接有封盖；

所述推挤泵通过导管与管体连通，导管穿过封盖，用于将电解液通入针头内部；

所述X-Y移动平台用于放置加工材料。

3.根据权利要求2所述的精度微孔的加工方法，其特征在于，其特征在于，加工材料具有导电性，与直流电源的正极连接；针头尖端内设有导电丝，该导电丝穿过管体从封盖处导出，与直流电源的负极连接。

4.根据权利要求2所述的精度微孔的加工方法，其特征在于，针头采用超细石英玻璃拉伸制成的微纳级别玻璃针头，针头尖端尺寸可根据需要进行制作并更换。

5.根据权利要求1所述的精度微孔的加工方法，其特征在于，推挤泵最小推挤量可达到纳升级别，并且可接入电脑控制，以对推挤过程进行编程控制。