[发明专利]OLED显示面板及其制作方法有效
申请号: | 201910332985.0 | 申请日: | 2019-04-24 |
公开(公告)号: | CN110098227B | 公开(公告)日: | 2021-07-06 |
发明(设计)人: | 何昆鹏;任章淳 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L51/56;H01L27/12 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | oled 显示 面板 及其 制作方法 | ||
1.一种制作OLED显示面板的方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)提供一衬底基板,在所述衬底基板上设置一彩膜层,其中在制作彩膜层的过程中,利用同一道光罩经多次平移一设定距离以分别形成不同颜色的色阻块;
(2)在所述彩膜层上覆盖一平坦层;
(3)在所述平坦层上层叠地形成一阳极和遮光层,其中通过半色调掩模工艺以使与所述彩膜层对应的位置的部分阳极暴露,在制作阳极和遮光层时通过半色调掩模工艺一次完成;
(4)在所述阳极和所述遮光层上覆盖一缓冲层,且所述缓冲层与所述彩膜层对应的位置具有一开口,使得与所述开口的位置所对应的部分阳极暴露。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述制作方法在步骤(4)之后包括:
(5)在所述缓冲层上依次层叠设置一有源层、一栅极绝缘层和一栅极,在制作所述栅极绝缘层和所述栅极通过同一道光罩完成;
(6)在所述缓冲层、所述有源层、所述栅极绝缘层和所述栅极上覆盖一层间绝缘层;
(7)在所述层间绝缘层上设置源极和漏极,其中所述源极通过一过孔与所述遮光层相接触。
3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述制作方法在步骤(7)之后包括:
(8)在所述层间绝缘层、所述缓冲层、所述源极和所述漏极上形成一像素界定层,从而避免执行一钝化层的图案化操作;
(9)在所述阳极上且与所述彩膜层相对应的位置设置一发光层;
(10)在所述像素界定层和所述发光层上覆盖一阴极。
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在步骤(3)中的遮光层的材料为非透明的金属或导电材料。
5.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,所述发光层包括白光有机发光器件,所述阴极的材料为导电性的反射材料。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的