[发明专利]一种基于固结磨料技术的蓝宝石抛光加工方法

权利要求书

1.一种基于固结磨料技术的蓝宝石抛光加工方法，其特征在于，包括如下步骤：

Cr₂O₃固结抛光垫的制备：在去离子水中加入固化剂，充分搅拌使其完全溶解，然后加入结合剂、Cr₂O₃微粉，搅拌混合均匀；将搅拌混合均匀的配料在模具中热压成形，脱模，并对得到的固结抛光垫上下端面进行修整，保证固结抛光垫上下端面的平整度和平行度，得Cr₂O₃固结抛光垫；

抛光加工方法：将Cr₂O₃固结抛光垫利用双面胶粘结在抛光盘上，并将固结抛光盘装入抛光机的底座紧固，然后将待加工的蓝宝石晶片放置在抛光机载样盘内，并夹紧固定，进行抛光加工，其中，抛光盘的转速为500～700r/min，载样盘的转速为80～150r/min，抛光压力为45～80KPa。

2.根据权利要求1所述的基于固结磨料技术的蓝宝石抛光加工方法，其特征在于，所述抛光加工方法中，在压力和相对速度的作用下，蓝宝石晶片和Cr₂O₃磨料之间先发生固相反应生成软质层，然后再利用Cr₂O₃磨料的摩擦，去除生成软质层，从而实现蓝宝石晶片的抛光。

3.根据权利要求1所述的基于固结磨料技术的蓝宝石抛光加工方法，其特征在于，所述Cr₂O₃固结抛光垫包括如下质量百分数成分：

Cr₂O₃微粉40％～60％、结合剂30％～50％、固化剂10％～20％、水余量。

4.根据权利要求3所述的基于固结磨料技术的蓝宝石抛光加工方法，其特征在于，所述Cr₂O₃固结抛光垫包括如下质量百分数成分：

Cr₂O₃微粉45％、结合剂35％、固化剂15％、水5％。

5.根据权利要求3所述的基于固结磨料技术的蓝宝石抛光加工方法，其特征在于，所述结合剂为氧化镁。

6.根据权利要求3所述的基于固结磨料技术的蓝宝石抛光加工方法，其特征在于，所述固化剂为氯化镁或酚醛-环氧树脂。

7.根据权利要求3所述的基于固结磨料技术的蓝宝石抛光加工方法，其特征在于，所述Cr₂O₃微粉的颗粒为3～5μm。