[发明专利]传感器装置和制造传感器装置的方法

说明书

本发明涉及一种传感器装置和一种制造传感器装置的方法。传感器装置包括在第一方向上磁化的磁体。此外，传感器装置包括布置在磁体上的差分磁场传感器，其具有第一传感器元件和第二传感器元件，其中这些传感器元件在垂直于第一方向的第二方向上间隔开。第一传感器元件和第二传感器元件被设置为，在垂直于第一方向并垂直于第二方向的第三方向上检测磁场分量。

技术领域

本发明涉及一种传感器装置和一种制造传感器装置的方法。

背景技术

在汽车应用中，可以使用铁磁轮和磁敏传感器的组合来测量轮速。例如，这种磁性速度传感器用于安全相关的应用中，例如，ABS(防抱死制动系统)、电机或变速箱。当然，磁性传感器可能易受杂散磁场的影响。由于现代车辆的电气化和混合化被推进，提高了磁性传感器相对于杂散磁场不敏感性方面的要求，并且将来会继续提高。传感器装置的制造商一直在努力改进他们的产品及其制造方法。因此期望开发传感器装置，以在当前杂散磁场中提供改进的性能。

发明内容

本发明的一个方面涉及一种传感器装置，包括在第一方向上磁化的磁体和布置在磁体上的差动磁场传感器，差动磁场传感器具有第一传感器元件和第二传感器元件，其中，这些传感器元件在垂直于第一方向的第二方向上间隔开，其中第一传感器元件和第二传感器元件被设置为，在垂直于第一方向并垂直于第二方向的第三方向上检测磁场分量。

本发明的另一个方面涉及一种方法，包括提供在第一方向上磁化的磁体，以及在磁体上提供具有第一传感器元件和第二传感器元件的差动磁场传感器，其中这些传感器元件在垂直于第一方向的第二方向上间隔开，其中第一传感器元件和第二传感器元件被设置为，在垂直于第一方向并垂直于第二方向的第三方向上检测磁场分量。

附图说明

下面参考附图更详细地解释根据本发明的传感器装置和制造传感器装置的方法。附图中所示的元件不一定按比例绘制。相同的参考标号可以表示相同的组件。

图1包括图1A和1B，它们示意性地示出了根据本发明的传感器装置100的横截面侧视图和俯视图。传感器装置100相对于铁磁轮布置。

图2包括图2A和2B，它们示意性地示出了根据本发明的传感器装置200的横截面侧视图和正视图。传感器装置200相对于铁磁轮布置。

图3包括图3A和3B，并且示出了根据本发明的传感器装置300A和300B的侧向横截面视图，这些传感器装置分别具有带凹部的磁体。图3A示出了在横截面中矩形的凹部。图3B示出了在横截面中三角形的凹部。

图4包括图4A至4C，并且示出了根据本发明的传感器装置的磁体沿y轴的磁场分布。图4A示出了磁场的y分量B_y的磁场分布。图4B示出了磁场的x分量B_x的磁场分布。图4C示出了磁场的z分量B_z的磁场分布。

图5包括图5A和5B并且示出了模拟模型，其示出了杂散场对不同磁场传感器在低气隙宽度情况下的影响。图5A示出了模拟模型的总体概况。图5B示出了在模拟模型中表示齿轮铁的磁条的详细描述。

图6包括图6A和6B，并且示出了差动信号幅度取决于位置的走势。图6A示出了在不同杂散场影响下的xMR传感器的信号走势。图6B示出了在不同杂散场影响下的霍尔传感器的信号走势。

图7包括图7A和7B，并且示出了差动信号幅度取决于传感器装置的传感器元件之间的距离的走势。图7A示出了在不同杂散场影响下的xMR传感器的信号走势。图7B示出了在不同杂散场影响下的霍尔传感器的信号走势。

图8示意性地示出了根据本发明的传感器装置800的俯视图。传感器装置800受到在传感器装置800和铁磁轮之间的气隙方向上的杂散磁场的影响。