[发明专利]一种锡球喷嘴及其制备方法

权利要求书

1.一种锡球喷嘴，其特征在于：包括喷嘴基体（1），喷嘴基体（1）由颈段（101）、漏斗段（102）和平底端（103）构成，喷嘴基体（1）内壁上镀金刚石膜层（2），喷嘴基体（1）的平底端（103）开设有锡球喷口（3）；颈段（101）为圆筒状，漏斗段（102）为锥筒状；所述颈段（101）的内径为5mm，壁厚2mm，高度为3mm，颈段（101）外表面设置有螺纹；漏斗段（102）以45°-60°的角度收缩，壁厚1mm，平底端（103）的内径为1-2mm，平底端（103）的厚度为0.5mm，锡球喷口（3）的直径为0.2-1mm；

所述喷嘴基体（1）由Ti合金制成；

所述锡球喷嘴采用以下方法制备：

1）热压主体：喷嘴基体（1）采用热锻液压方式制备；

2）激光打孔：锡球喷口（3）采用激光打孔方式制备；

3）清洗：将步骤（2）所得基体在丙酮内超声清洗，烘干；

4）镀膜：在烘干后的基体内表面上镀金刚石膜层（2），得到锡球喷嘴。

2.根据权利要求1所述的锡球喷嘴，其特征在于：所述金刚石膜层（2）的厚度为10-20μm。

3.根据权利要求1所述的一种锡球喷嘴，其特征在于：所述步骤（3）中基体在丙酮内超声清洗5-10min后，用N2气吹干。

4.根据权利要求3所述的一种锡球喷嘴，其特征在于：所述步骤（4）中采用热丝化学气相沉积法镀金刚石膜层（2）。

5.根据权利要求4所述的一种锡球喷嘴，其特征在于：所述热丝化学气相沉积法的工艺参数如下：CH4-H2混合气体流量200-500sccm，CH4占总流量的1-1.5%，喷嘴基体的温度为750-900℃，灯丝温度2000-2100℃，工作气压500-1000Pa，选择直径为0.2mm的钽丝作为热丝材料。