[发明专利]一种晶圆检测装置

权利要求书

1.一种晶圆检测装置，其特征在于：包括控制器、两个传感器和传感器固定机构，两个传感器设置在传感器固定机构上，两个传感器中心所在平面与晶舟槽位平行，两个传感器和传感器固定机构与控制器连接，控制器控制传感器固定机构升降使得两个传感器依次扫描晶舟内部的槽位，两个传感器每次分别扫描同一槽位的两侧，控制器用于在两个传感器采集的信号不一致时输出晶圆斜插信息。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆检测装置，其特征在于：还包括可旋转式的机械手臂，控制器与机械手臂连接，控制器用于在晶圆斜插时，控制机械手臂旋转一调整角度后抓取晶圆。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆检测装置，其特征在于：所述控制器用于根据斜插晶圆的宽度和高度差再利用三角函数算出斜插角度值为调整角度。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆检测装置，其特征在于：所述控制器用于根据两个传感器都采集到信号时，输出该槽位具有晶圆的信息。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆检测装置，其特征在于：所述控制器用于根据两个传感器都没有采集到信号时，输出该槽位没有晶圆的信息。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆检测装置，其特征在于：所述传感器为摄像头或者测距传感器。