[发明专利]一种倾斜入射相移干涉仪和直角棱镜大面测量方法

权利要求书

1.一种倾斜入射相移干涉仪，其特征在于，包括干涉仪(1)、透射平晶(2)、反射平晶(3)、直角棱镜测试载物台(4)；所述透射平晶(2)垂直于干涉仪出射波前；直角棱镜(5)放置于直角棱镜测试载物台(4)上，所述直角棱镜测试载物台(4)包括一个固定的二维调整架(41)，所述二维调整架(41)上开孔；所述直角棱镜测试载物台(4)还包括长方孔连接件(42)，所述长方孔连接件(42)连接于二维调整架(41)开孔内，并可旋转；所述直角棱镜(5)配套治具(7)固定于所述长方孔连接件(42)内，并使得直角棱镜(5)大面对准光路，所述直角棱镜可相对于直角棱镜测试载物台(4)旋转；所述透射平晶(2)与反射平晶(3)分立于直角棱镜(5)两侧；其中干涉仪(1)出射波前垂直通过透射平晶(2)，倾斜入射到直角棱镜(5)大面上，然后波前被反射到反射平晶(3)；反射平晶(3)垂直反射波前并使反射波前沿原光路返回，并与透射平晶(2)的反射波前形成干涉条纹而被干涉仪(1)接收。

2.根据权利要求1所述的倾斜入射相移干涉仪，其特征在于，所述干涉仪(1)与直角棱镜(5)大面夹角为60°。

3.根据权利要求1所述的倾斜入射相移干涉仪，其特征在于，所述干涉仪(1)、透射平晶(2)、反射平晶(3)、直角棱镜测试载物台(4)均固定于一体化底板(6)上；所述二维调整架(41)大平面、透射平晶(2)、反射平晶(3)垂直于一体化底板(6)；所述干涉仪出射波前与一体化底板(6)平行。

4.根据权利要求2所述的倾斜入射相移干涉仪，其特征在于，所述透射平晶(2)、反射平晶(3)对称的设置于所述直角棱镜(5)两侧。

5.一种使用如权利要求1～4任一项所述的倾斜入射相移干涉仪进行直角棱镜大面测量的方法，其特征在于，包括如下步骤：

1)将干涉仪(1)切换到对点模式，首先可以看到透射平晶(2)的反射光点位于十字分划板的中心；

2)将被测直角棱镜(5)放到直角棱镜测试载物台(4)配套治具(7)上，干涉仪(1)出射波前倾斜射入直角棱镜(5)的大面，在监视屏幕上可以看到直角棱镜(5)的反射光点簇；微旋转长方孔连接件(42)外框，有一对光点簇对称向外移动、有一组独立光点簇不动；

3)调整二维调整架(41)，将原来不动的独立光点簇调整到十字分划之间，使其中心光点与反射平晶(3)反射光点重合；

4)微旋转配套治具(7)外框，使对称光点簇离开中心，到达视场边缘；

5)将干涉仪(1)切换到测试状态，调整二维调整架(41)的倾斜，使得干涉条纹数目符合相移测量要求；

6)进行目视条纹判读或相移干涉测量。

6.根据权利要求5所述直角棱镜大面测量方法，其特征在于，所述步骤2)干涉仪(1)出射波前以60°角倾斜射入直角棱镜(5)的大面。