[发明专利]一种基于DLP技术的傅里叶变换光谱仪

权利要求书

1.一种基于DLP技术的傅里叶变换光谱仪，其特征在于， 包括光源、第一透镜、第一DMD芯片、分光补偿模块、平面反射镜、倾角反射镜、第二透镜、光电探测器、模数转换器和控制处理器；

光源发出的入射光能够依次经第一透镜透射、第一DMD芯片反射到达分光补偿模块处，该分光补偿模块用于无色散地将入射光分为两束分光，其中一束分光能够依次经平面反射镜、分光补偿模块、第二透镜的反射或透射到达光电探测器处，另一束分光能够依次经倾角反射镜、分光补偿模块、第二透镜的反射或透射到达光电探测器处；

倾角反射镜的镜面方向与入射向其镜面的光路方向呈设定角度，用于使两束分光形成光程差；

控制处理器通过模数转换器与光电探测器连接，用以获取干涉图像；

控制处理器还与第一DMD芯片连接，用以控制微镜阵列的摆动。

2.根据权利要求1所述的傅里叶变换光谱仪，其特征在于，该分光补偿模块包括由两个相同尺寸的直角等腰三棱镜斜面胶合构成的立方体棱镜组，其中一个直角等腰三棱镜的斜面上镀有半透半反膜；

倾角反射镜的镜面中心与平面反射镜的镜面中心关于立方体棱镜组的体心共轭对称。

3.根据权利要求1所述的傅里叶变换光谱仪，其特征在于，该分光补偿模块包括分光镜和补偿镜，分光镜为一面镀有半透半反膜的平板玻璃，补偿镜为厚度与分光镜相同的平板玻璃，补偿镜的透光面方向与分光镜的镜面方向平行设置；

倾角反射镜的镜面中心与平面反射镜的镜面中心关于分光镜的镜面中心共轭对称。

4.根据权利要求1-3任一所述的傅里叶变换光谱仪，其特征在于，第一透镜为准直透镜。

5.根据权利要求4所述的傅里叶变换光谱仪，其特征在于，光电探测器为InGaAs探测器。

6.根据权利要求5所述的傅里叶变换光谱仪，其特征在于，平面反射镜为第二DMD芯片。

7.根据权利要求1所述的傅里叶变换光谱仪，其特征在于，该设定角度为88.77度。