[发明专利]一种铜线键合报警功能的氢氮比例混合器及其报警方法在审
申请号: | 201910539027.0 | 申请日: | 2019-06-20 |
公开(公告)号: | CN110264674A | 公开(公告)日: | 2019-09-20 |
发明(设计)人: | 季达;黄渊 | 申请(专利权)人: | 南通华达微电子集团有限公司 |
主分类号: | G08B21/12 | 分类号: | G08B21/12;B01F3/02 |
代理公司: | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人: | 魏蓓 |
地址: | 226000*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 混合腔 氮气 氮气进气口 混合器本体 氢气进气口 氢气 氢氮 氢气流量控制器 比例混合器 报警功能 氮气流量 铜线键合 控制器 报警 混合技术领域 混合气流量 氢气分析仪 比例控制 控制混合 氢气流量 手动调节 输出流量 传感器 进气量 进气 检测 | ||
1.一种铜线键合报警功能的氢氮比例混合器,其特征在于,包括混合器本体;所述混合器本体的内部开设有用于氮气和氢气混合的混合腔,混合腔上设置有用于进气的氮气进气口和氢气进气口,氮气进气口和氢气进气口上分别设置有氮气流量控制器YB3和氢气流量控制器YB2;所述混合腔的内部还设置有氢气分析仪YB1和混合气流量下限检测传感器S1;
所述混合气含氢气量下限报警继电器J2与氢气分析仪YB1电性连接,混合气含氢气量下限报警继电器J2的常开触点与混合气含氢气量下限报警指示灯D2、灯塔红灯D3和报警喇叭Y串联;所述混合气含氢气量下限报警继电器J2的常闭触点与灯塔绿灯D4串联
所述混合气流量下限报警继电器J1与混合气流量下限检测传感器S1电性连接,混合气流量下限报警继电器J1的常开触点与混合气流量下限报警指示灯D1、灯塔红灯D3和报警喇叭Y串联;所述混合气流量下限报警继电器J1的常闭触点与灯塔绿灯D4串联。
2.根据权利要求1所述的具有报警功能的氢氮比例混合器,其特征在于,所述混合器本体上还设置有闪光控制器SG。
3.根据权利要求2所述的具有报警功能的氢氮比例混合器,其特征在于,所述混合器本体上还设置有用于复位的报警复位按钮AN1。
4.如权利要求1-3任一所述的具有报警功能的氢氮比例混合器的报警方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1、混合气含氢气量下限报警
当氢气分析仪YB1检测到混合腔内部的氢气含量低于设定值时:
S11、混合气含氢气量下限报警继电器J2常开触点J2-1闭合,自保混合气含氢气量下限报警继电器J2始终通电;
S12、混合气含氢气量下限报警继电器J2常开触点J2-2闭合,控制面板上的混合气含氢气量下限报警指示灯D2得电在闪光控制器SG作用下频闪发光报警;
S13、混合气含氢气量下限报警继电器J2常开触点J2-3闭合,灯塔中的灯塔红灯D3得电在闪光控制器SG作用下频闪发光报警,报警喇叭Y得电在闪光控制器SG作用下发出间隙性鸣响报警;
S14、混合气含氢气量下限报警继电器J2常闭触点J2-4断开,灯塔中的工作正常绿色指示灯D4熄灭;
S2、混合气流量下限报警
当混合气流量下限检测传感器S1检测到混合腔内部的混合气含量低于设定值时:
S21、混合气流量下限报警继电器J1常开触点J1-1闭合,自保混合气流量下限报警继电器J1始终通电;
S22、混合气流量下限报警继电器J1常开触点J1-2闭合,控制面板上的混合气流量下限报警指示灯D1得电在闪光控制器SG作用下频闪发光报警;
S23、混合气流量下限报警继电器J1常开触点J1-3闭合,灯塔中的D3红灯得电在SG作用下频闪发光报警,报警喇叭Y得电在闪光控制器SG作用下发出间隙性鸣响报警;
S24、混合气流量下限报警继电器J1常闭触点J1-4断开,灯塔中的工作正常绿色指示灯D4熄灭。
5.根据权利要求4所述的具有报警功能的氢氮比例混合器的报警方法,其特征在于,步骤S14中,当混合气含H2量恢复正常后,按报警复位按钮AN1,混合气含氢气量下限报警继电器J2断电,混合气含氢气量下限报警继电器J2常开触点断开,混合气含氢气量下限报警继电器J2通电自保结束,混合气含氢气量下限报警指示灯D2、灯塔红灯D3、报警喇叭Y停止报警,灯塔绿灯D4恢复发光,混合气含H2量下限报警解除。
6.根据权利要求4所述的具有报警功能的氢氮比例混合器的报警方法,其特征在于,步骤S25中,当混合气流量恢复正常后,按报警复位按钮AN1,混合气流量下限报警继电器J1断电,混合气流量下限报警继电器J1常开触点断开,混合气流量下限报警继电器J1通电自保结束,混合气流量下限报警指示灯D1、灯塔红灯D3、报警喇叭Y停止报警,灯塔绿灯D4恢复发光,混合气流量下限报警解除。
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