[发明专利]一种硅基芯片组的高保护性封装设备有效
申请号: | 201910542883.1 | 申请日: | 2019-06-21 |
公开(公告)号: | CN110137093B | 公开(公告)日: | 2020-11-03 |
发明(设计)人: | 吴美俊 | 申请(专利权)人: | 浙江金果知识产权有限公司 |
主分类号: | H01L21/50 | 分类号: | H01L21/50;H01L21/56 |
代理公司: | 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638 | 代理人: | 王新爱 |
地址: | 322000 浙江省金华市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片组 保护性 封装 设备 | ||
1.一种硅基芯片组的高保护性封装设备,包括箱体,其特征在于:所述箱体顶壁内设有动力腔,所述动力腔内设有可为装置提供动力的动力机构,所述箱体下壁内设有控制腔,所述控制腔内设有控制机构,所述动力腔下壁内设有传动腔,所述传动腔内设有推送传动机构,所述传动腔下壁内设有推送腔,所述推送腔内设有推送机构,所述传动腔左壁内设有封装板储存腔,所述封装板储存腔左右两侧壁内设有可提供缓冲作用的缓冲垫,所述封装板储存腔内叠放有封装盖板,所述封装板储存腔左壁连通的设有工作腔,所述工作腔顶壁内设有凸轮机构,所述工作腔内且位于所述凸轮机构下端设有加压机构,进而可对芯片进行冲压封装,所述工作腔下壁设有传送机构,所述传送机构上方铺设有芯片基板,所述工作腔左壁内设有可夹紧固定所述芯片基板的夹紧机构,所述箱体左壁内设有连杆机构传动腔,所述连杆机构传动腔内设有连杆机构;所述动力机构包括设于所述动力腔内的主电机,所述主电机上设有可转动的主传动轴,所述主传动轴右端固设有第一锥齿轮,所述动力腔内设有可转动的第一传动轴,所述第一传动轴顶端且位于所述动力腔内固设有第二锥齿轮,所述第二锥齿轮与所述第一锥齿轮啮合,所述第一传动轴底端固设有第三锥齿轮,所述第三锥齿轮带动所述控制机构转动,所述动力腔内且位于所述主传动轴外壁上固设有第一控制锥齿轮,所述动力腔内且位于所述主传动轴外壁上固设有第二控制锥齿轮,所述动力腔内设有可转动的第二传动轴,所述第二传动轴顶端且位于所述动力腔内固设有第四锥齿轮,所述第四锥齿轮与所述第二控制锥齿轮或所述第一控制锥齿轮交替啮合,进而可带动所述推送传动机构转动;所述控制机构包括设于所述控制腔内的控制传动轴,所述控制传动轴右端固设有第七控制锥齿轮,所述第七控制锥齿轮与所述第三锥齿轮啮合,进而可带动所述控制传动轴转动,所述控制传动轴左端固设有第三控制锥齿轮,所述控制腔内设有可转动的第一控制定位轴,所述第一控制定位轴外壁上固设有第四控制锥齿轮,所述第四控制锥齿轮与所述第三控制锥齿轮啮合,所述第一控制定位轴外壁上固设有第一控制齿轮,所述控制腔内设有可滑动的第二控制定位轴,第一控制带轮上固设有第二控制齿轮,所述第二控制齿轮与所述第一控制齿轮啮合,所述第二控制定位轴外壁上固设有第一控制带轮,所述控制腔内设有可转动的第三控制定位轴,所述第三控制定位轴上固设有第二控制带轮,所述第二控制带轮与所述第一控制带轮通过第一皮带相连,所述第三控制定位轴外壁上固设有第五控制锥齿轮,所述工作腔内设有可转动的第二控制传动轴,所述第二控制传动轴右端固设有第六控制锥齿轮,所述第六控制锥齿轮与所述第五控制锥齿轮啮合,进而当第六控制锥齿轮转动时,可带动所述传送机构转动,所述第二控制传动轴外壁且位于所述控制腔内固设有第三控制齿轮,所述控制腔内设有可转动的第三控制传动轴,所述第三控制传动轴上固设有第四控制齿轮,所述第四控制齿轮与所述第三控制齿轮啮合;所述传送机构包括前后对称的设于所述工作腔内的所述第二控制传动轴,所述第二控制传动轴外壁上设有传送轮,前后两侧的所述传送轮之间设有传送皮带,所述传送皮带上放置有所述芯片基板;所述连杆机构包括设于所述连杆机构传动腔内的连杆传动轴,所述连杆传动轴底端固设有第一连杆锥齿轮,所述第三控制传动轴左端固设有第二连杆锥齿轮,所述第二连杆锥齿轮与所述第一连杆锥齿轮啮合,所述连杆传动轴顶端固设有第三连杆锥齿轮,所述连杆机构传动腔内设有可转动的第一连杆定位轴,所述第一连杆定位轴上固设有第四连杆锥齿轮,所述第四连杆锥齿轮与所述第三连杆锥齿轮啮合,所述第一连杆定位轴外壁上固设有第一连杆,所述第一连杆可带动所述夹紧机构转动;所述夹紧机构包括设于所述工作腔内的第二连杆,所述第二连杆通过第二连杆定位轴与所述第一连杆铰接,所述工作腔内设有可转动的第三连杆,所述第三连杆通过第三连杆定位轴铰接在所述工作腔底壁上,所述第三连杆顶端通过第四连杆定位轴铰接在所述第二连杆上,所述第二连杆右端固设有夹具,进而用于夹紧所述芯片基板;所述推送传动机构包括设于所述传动腔内的第一齿条传动轴,所述第一齿条传动轴左端固设有第一齿条锥齿轮,所述传动腔内且位于所述第二传动轴下端固设有第二齿条锥齿轮,所述第二齿条锥齿轮与所述第一齿条锥齿轮啮合,所述第一齿条传动轴右端固设有第三齿条锥齿轮,所述传动腔内设有可转动的第二齿条传动轴,所述第二齿条传动轴上固设有第四齿条锥齿轮,所述第四齿条锥齿轮与所述第三齿条锥齿轮啮合,所述第二齿条传动轴外壁上固设有第一齿条带轮,所述第一齿条带轮上绕设有齿条皮带,进而将动力通过所述齿条皮带传递给所述推送机构;所述推送机构包括设于所述推送腔内的第三齿条传动轴,所述第三齿条传动轴上固设有第二齿条带轮,所述第二齿条带轮与所述齿条皮带相连,所述推送腔下壁设有可滑动的齿条推板,进而当所述齿条推板左右滑动时,可将所述封装板储存腔内的封装盖板,推送到所述工作腔内的所述芯片基板上方;所述凸轮机构包括设于所述工作腔内的凸轮轴,所述凸轮轴上固设有凸轮锥齿轮,所述主传动轴左端且位于所述工作腔内固设有第二凸轮锥齿轮,所述凸轮锥齿轮与所述第二凸轮锥齿轮啮合,所述凸轮轴上固设有凸轮;所述加压机构包括设于所述工作腔内的加压活塞,所述加压活塞内部弹性连接设有复位弹簧。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造