[发明专利]一种用于大尺寸晶圆厚度及弯曲度检测的运动平台

权利要求书

1.一种用于大尺寸晶圆厚度及弯曲度检测的运动平台，其特征在于，包括大理石基座(1)，所述大理石基座(1)上平行设置有Y1向大理石导轨(8)和Y2向大理石导轨(7)，Y1向大理石导轨(8)和Y2向大理石导轨(7)上分别安装有Y1向气浮导向装置和Y2向气浮导向装置，所述Y1向气浮导向装置和Y2向气浮导向装置之间垂直连接有平行的X1向导轨(22)和X2向导轨(25)，所述X1向导轨(22)和X2向导轨(25)上通过气浮相互作用设置有X向气浮导向装置，所述X向气浮导向装置上安装有载物台(28)；所述X1向导轨(22)上安装有X向光栅尺(37)，与所述X向光栅尺(37)相对应的X向读数头(45)通过X向读数头连接件(46)安装在载物台(28)底部；Y1向大理石导轨(8)和Y2向大理石导轨(7)相互背向的侧面上分别安装有Y1向光栅尺(17)和Y2向光栅尺(18)，对应所述Y1向光栅尺(17)的Y1向读数头(16)安装在Y1向气浮导向装置的Y1向驱动连接件(21)上，对应所述Y2向光栅尺(18)的Y2向读数头(19)安装在Y2向气浮导向装置的Y2向驱动连接件(23)上；所述大理石基座(1)上通过Z轴支架安装有上光谱共焦传感器(14)所述大理石基座(1)上安装有下光谱共焦传感器(15)，所述下光谱共焦传感器(15)设置在载物台(28)正下方，所述上光谱共焦传感器(14)和下光谱共焦传感器(15)同轴设置。

2.根据权利要求1所述的用于大尺寸晶圆厚度及弯曲度检测的运动平台，其特征在于：所述Y1向气浮导向装置包括Y1向电机定子(9)、Y1向电机动子(10)、Y1向L型气浮件(20)和Y1向驱动连接件(21)，所述Y1向电机定子(9)通过连接件固定在大理石基座(1)上，所述Y1向电机定子(9)上活动设置有Y1向电机动子(10)，所述Y1向电机动子(10)的顶端连接在Y1向驱动连接件(21)的一端，所述Y1向驱动连接件(21)的另一端连接在Y1向L型气浮件(20)上。

3.根据权利要求2所述的用于大尺寸晶圆厚度及弯曲度检测的运动平台，其特征在于：所述Y1向L型气浮件(20)与Y1向电机动子(10)分别设置在Y1向大理石导轨(8)的两侧，所述Y1向L型气浮件(20)的侧面上穿设有一号Y1向导向关节式气浮垫(31)和二号Y1向导向关节式气浮垫(32),所述Y1向L型气浮件(20)的底面为一体式真空预载式气浮。

4.根据权利要求3所述的用于大尺寸晶圆厚度及弯曲度检测的运动平台，其特征在于：所述Y2向气浮导向装置包括Y2向电机定子(5)、Y2向电机动子(6)、Y2向L型气浮件(24)和Y2向驱动连接件(23)，所述Y2向电机定子(5)通过连接件固定在大理石基座(1)上，所述Y2向电机定子(5)上活动设置有Y2向电机动子(6)，所述Y2向电机动子(6)的顶端连接在Y2向驱动连接件(23)的一端，所述Y2向驱动连接件(23)的另一端连接在Y2向L型气浮件(24)上。

5.根据权利要求4所述的用于大尺寸晶圆厚度及弯曲度检测的运动平台，其特征在于：所述Y2向L型气浮件(24)与Y2向电机动子(6)分别设置在Y2向大理石导轨(7)的两侧，所述Y2向L型气浮件(24)的侧面上穿设有一号Y2向导向关节式气浮垫(33)和二号Y2向导向关节式气浮垫(34)，所述Y2向L型气浮件(24)的底面为一体式真空预载式气浮。

6.根据权利要求5所述的用于大尺寸晶圆厚度及弯曲度检测的运动平台，其特征在于：所述X1向导轨(22)和X2向导轨(25)的两端同时连接在Y1向L型气浮件(20)和Y2向L型气浮件(24)上，所述X1向导轨(22)和X2向导轨(25)之间还垂直设置有一号加强筋(29)和二号加强筋(30)，所述一号加强筋(29)和二号加强筋(30)与Y1向L型气浮件(20)和Y2向L型气浮件(24)平行。

7.根据权利要求6所述的用于大尺寸晶圆厚度及弯曲度检测的运动平台，其特征在于：所述一号加强筋(29)和二号加强筋(30)上设置有多个通孔。