[发明专利]一种用于优化三维柔性应变传感器及制备方法有效
申请号: | 201910561287.8 | 申请日: | 2019-06-26 |
公开(公告)号: | CN110375635B | 公开(公告)日: | 2021-07-13 |
发明(设计)人: | 徐旻轩;李馨;金成超;何志伟;张骐 | 申请(专利权)人: | 杭州电子科技大学 |
主分类号: | G01B7/16 | 分类号: | G01B7/16 |
代理公司: | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人: | 杨舟涛 |
地址: | 310018 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 优化 三维 柔性 应变 传感器 制备 方法 | ||
1.一种用于优化三维柔性应变传感器,其特征在于:在一个长方体石墨烯泡沫的一个顶面,在顶面的中心开有一个直径2毫米的通孔;石墨烯泡沫上设有两个外接电极,并通过外接导线引出,石墨烯泡沫内由聚合物填充;
所述传感器的制备方法为:
步骤一:在镍泡沫上开一个直径2毫米的通孔;
步骤二:开有通孔的镍泡沫通过常压CVD法在镍骨架上生长石墨烯骨架结构,石墨烯层壁厚为1-2个碳原子层;
步骤三:石墨烯泡沫通过稀盐酸刻蚀去除镍骨架;
步骤四:石墨烯泡沫两侧有两个外接电极,两个外接电极通过导线引出;
步骤五:填充聚合物;得到三维柔性应变传感器。
2.根据权利要求1所述的一种用于优化三维柔性应变传感器,其特征在于:所述的石墨烯泡沫为中空结构,骨架为壁厚约1-2层碳原子层厚度的石墨烯,骨架中分布大小不一的不规则微型孔洞,孔洞尺寸在500微米以内。
3.根据权利要求1所述的一种用于优化三维柔性应变传感器,其特征在于:所开通孔形状包括等边三角形、正方形或圆形。
4.根据权利要求1所述的一种用于优化三维柔性应变传感器,其特征在于:所述外接电极为银胶电极,分别位于石墨烯泡沫的两端。
5.根据权利要求1所述的一种用于优化三维柔性应变传感器,其特征在于:所述聚合物为环氧树脂,由前驱体1:1体积比混合后填充,并常温常压固化。
6.根据权利要求1所述的一种用于优化三维柔性应变传感器,其特征在于:所述石墨烯泡沫是常压化学气相法工艺制备的石墨烯泡沫。
7.根据权利要求1所述的一种用于优化三维柔性应变传感器,其特征在于:所述外接电极的金属材料为铜、银或金。
8.根据权利要求7所述的一种用于优化三维柔性应变传感器的制备方法,其特征在于:所述的聚合物为环氧树脂,采用A、B两种组分1:1体积比混合后,倒入待填充的石墨烯泡沫中,在常温常压下固化,固化时间不少于4小时。
9.根据权利要求1所述的一种用于优化三维柔性应变传感器,其特征在于:所述的石墨烯泡沫可替换为三维结构的碳纳米管、或金属骨架结构。
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