[发明专利]基于马赫曾德光路的多方向剪切散斑干涉系统及测量方法

权利要求书

1.一种基于马赫曾德光路的多方向剪切散斑干涉测量系统，其特征是：

以激光器(1)为激光光源，所述激光器(1)的出射光经扩束后照射在被测面(2)，在所述被测面(2)的表面形成漫反射光；

所述漫反射光经第一分光棱镜(3)按5:5分束形成第一束光和第二束光，所述第二束光经第二分光棱镜(4)按5:5分束形成第三束光和第四束光；

所述第一束光依次经第一反射镜(5)、第一孔径光阑(6)、第一成像透镜(7)、第三分光棱镜(8)和第四分光棱镜(9)后成像在CCD相机(10)的靶面上，形成第一幅图像；所述第三束光依次经第二反射镜(11)、第二孔径光阑(12)、第二成像透镜(13)、第三分光棱镜(8)和第四分光棱镜(9)后成像在CCD相机(10)的靶面上，形成第二幅图像；所述第四束光依次经第三反射镜(14)、第三孔径光阑(15)、第三成像透镜(16)和第四分光棱镜(9)后成像在CCD相机(10)的靶面上，形成第三幅图像；所述第一幅图像、第二幅图像和第二幅图像在CCD相机(10)的靶面上相互干涉，形成散斑干涉图；

通过调整所述第二反射镜(11)使所述第二幅图像相对与所述第一幅图像产生X正方向的剪切；通过调整所述第三反射镜(14)使所述第三幅图像相对于所述第一幅图像产生Y正方向的剪切；且所述第三幅图像产生相对于第二幅图像斜45度方向的剪切，所述剪切是指图像之间相互错位；利用所述第一幅图像、第二幅图像和第三幅图像在CCD相机(10)的靶面上相互错位干涉，获得多方向剪切散斑干涉图。

2.利用权利要求1所述的基于马赫曾德光路的多方向剪切散斑干涉测量系统实现被测物缺陷多方向检测的方法，其特征是：

对所述被测面(2)进行加载使所述被测面(2)发生形变；通过采集分别获得所述CCD相机(10)靶面上在被测面(2)形变前后的多方向剪切散斑干涉图像；对所述多方向剪切散斑干涉图像进行傅里叶变换，获得所述多方向剪切散斑干涉图像的频谱；对所述频谱进行提取，分别获得含有X方向、Y方向和斜45度方向剪切的漫反射光复振幅的频谱部分；

将所述含有X方向、Y方向和斜45度方向剪切的漫反射光复振幅的频谱部分分别进行反傅立叶变换，分别获得含有X方向、Y方向和斜45度方向剪切的漫反射光的复振幅，通过复振幅相位提取，分别得到含有X方向、Y方向和斜45度方向剪切的漫反射光的相位信息；

将被测面(2)在变形前和变形后含有X方向剪切的漫反射光的相位信息相减，得到表征被测面(2)的离面形变含有X方向导数的相位差，从而得到被测面(2)含有X方向的检测结果；

将被测面(2)在变形前和变形后含有Y方向剪切的漫反射光的相位信息相减，得到表征被测面(2)的离面形变含有Y方向导数的相位差，从而得到被测面(2)含有Y方向的检测结果；

将被测面(2)在变形前和变形后含有斜45度方向剪切的漫反射光的相位信息相减，得到表征被测面(2)的离面形变含有斜45度方向导数的相位差，从而得到被测面(2)含有斜45度方向的检测结果。

3.根据权利要求2所述的实现被测物缺陷多方向检测的方法，其特征是按照如下步骤进行：

步骤1：由所述CCD相机(10)靶面采集获得被测面(2)形变前多方向剪切散斑干涉图像的强度I(x,y)：

I(x,y)＝(u₁+u₂+u₃)(u₁^*+u₂^*+u₃^*) (1)

其中：

u₁为所述第一束光经第一反射镜(5)反射的反射光波前；

u₂为所述第三束光经第二反射镜(11)反射的反射光波前；

u₃为所述第四束光经所述第三反射镜(14)反射的反射光波前；

u₁^*、u₂^*、u₃^*一一对应为u₁、u₂、u₃的共轭；

步骤2：对所述形变前多方向剪切散斑干涉图像的强度I(x,y)进行傅里叶变换得到如式(2)表示的空间频谱FT[I(x,y)]:

其中:

A(f_x,f_y)是空间频谱中含有背景光的低频项频谱，设置所述低频项频谱A(f_x,f_y)位于频谱中心坐标(0,0)的周围区域上；

B(f_x-f_cx,f_y)和C(f_x+f_cx,f_y)是互为共轭的高频项频谱，其含有X方向剪切的相位信息；

D(f_x,f_y-f_cy)和E(f_x,f_y+f_cy)是互为共轭的高频项频谱，其含有Y方向剪切的相位信息；

F(f_x-f_cx,f_y-f_cy)和G(f_x+f_cx,f_y+f_cy)是互为共轭的高频项频谱，其含有斜45度方向剪切的相位信息；

f_x和f_y分别为空间频谱的横坐标和纵坐标；

f_cx是因所述第二孔径光阑相对于第一孔径光阑有X方向错位引入的载波频率；

f_cy是因所述第三孔径光阑相对于第一孔径光阑有Y方向错位引入的载波频率；

f_cx和f_cy分别为具有X方向的载波频率和具有Y方向的载波频率；

步骤3：设置滤波窗口提取含有相位信息的高频项：

利用滤波窗口C提取C(f_x+f_cx,f_y)部分频谱作为包含X剪切方向的相位信息的频谱，设置滤波窗口C是以(f_cx,0)为中心、以截止频率f_u1为半径的圆；

利用滤波窗口E提取E(f_x,f_y+f_cy)部分频谱作为包含Y剪切方向的相位信息的频谱，设置滤波窗口E是以(0,f_cy)为中心、以截止频率f_c2为半径的圆；

利用滤波窗口G提取G(f_x+f_cx,f_y+f_cy)部分频谱作为包含斜45度剪切方向的相位信息的频谱，设置滤波窗口G是以(f_cx,f_cy)为中心、以截止频率f_u3为半径的圆；

步骤4：由式(3)进行计算，分别获得被测面形变前X方向剪切的相位被测面形变前Y方向剪切的相位以及被测面形变前斜45度方向剪切的相位

其中：

Im[]为取虚部运算、Re[]为取实部运算，IFT[]为反傅里叶变换；

步骤5：在被测面(2)形变后采集获得多方向剪切散斑干涉图像，按照步骤1-步骤4的相同方式进行相位信息提取，分别获得被测面形变后X方向剪切变形后的相位被测面形变后Y方向剪切变形后的相位以及被测面形变后斜45度方向剪切变形后的相位

步骤6：由式(4)计算获得相位差Δ_x(x,y)、Δ_y(x,y)和Δ_xy(x,y)：

以所述相位差Δ_x(x,y)、Δ_y(x,y)和Δ_xy(x,y)一一对应表征在X方向、Y方向和斜45度方向剪切上的被测物缺陷，作为检测结果。