[发明专利]液体喷射头

说明书

提供了一种液体喷射头，液体喷射头包括元件基板，元件基板包括：公共液体室，连接到液体供应源；压力室，连接到公共液体室并在内部包括能量产生元件用以产生用于喷射液体的能量；发泡室，连接到公共液体室并在内部包括用以致使液体流动的泵；连接流路，把压力室和发泡室连接起来；其中，液体喷射头包括在能量产生元件上方的第一抗气蚀膜和在泵上方的第二抗气蚀膜，并且第一抗气蚀膜和第二抗气蚀膜具有不同的膜厚度。

技术领域

本发明涉及液体喷射头。

背景技术

在喷射液体(例如墨)的液体喷射设备所用的液体喷射头中，液体中挥发性组分的蒸发会使喷射口中的液体增稠。在粘度明显增加的情况下，增大了液体阻力，这会妨碍适当喷射。作为防止这种液体增稠现象的措施，已知的一种方法是使新鲜液体流过压力室中的喷射口。

作为使液体流过压力室中喷射口的方法，已知一种在液体喷射头中提供微循环系统的技术，该微循环系统包括由加热电阻器元件组成并安装在液体喷射头上的辅助微气泡泵(参见国际公开WO2012/008978)。对于热喷墨液体喷射头，当形成用于喷射液体的元件时，可以同时形成微气泡泵。因此，可以有效地形成微循环系统。

同时，加热电阻器元件会因在加热产生的气泡溃灭时导致的水击作用而损坏。为了解决这个问题，设想的是形成由例如钽制成的金属膜作为抗气蚀膜。从提高生产率的观点看，常见的是同时形成用于保护产生喷射液体的能量的能量产生元件的抗气蚀膜和用于保护用于泵送的加热电阻器元件的抗气蚀膜。然而，每种元件所需的抗气蚀膜的热效率程度和耐久性程度是不同的。因此，如果在不考虑元件所需特性的情况下形成抗气蚀膜，那么在一些情况下抗气蚀膜的热效率和可靠性会较低。

发明内容

根据本发明一方面的一种液体喷射头包括元件基板，元件基板包括：公共液体室，连接到液体供应源；压力室，连接到公共液体室并在内部包括能量产生元件用以产生用于喷射液体的能量；发泡室，连接到公共液体室并在内部包括用以致使液体流动的泵；以及连接流路，把压力室和发泡室连接起来。液体喷射头包括在能量产生元件上方的第一抗气蚀膜和在泵上方的第二抗气蚀膜，并且第一抗气蚀膜和第二抗气蚀膜具有不同的膜厚度。

根据以下参考附图对示例性实施例的描述，本发明的其他特征将变得明显。

附图说明

图1是液体喷射头的示例的立体图。

图2是元件基板的一部分的俯视图；

图3A和图3B是在液体流动方向上沿着流路所截取的元件基板的剖视图；

图4A和图4B是元件基板的一部分的俯视图和剖视图；

图5A和图5B是元件基板的一部分的俯视图和剖视图；

图6A和图6B是元件基板的一部分的俯视图和剖视图；

图7A和图7B是元件基板的一部分的俯视图和剖视图；以及

图8A和图8B是元件基板的一部分的俯视图和剖视图。

具体实施方式

在下文中，将参考附图描述根据本发明实施例的液体喷射头和液体喷射设备。液体喷射头的示例包括喷射墨的喷墨打印头。液体喷射设备的示例包括喷墨打印设备。应当注意，液体喷射头和液体喷射设备的示例并不限于这些。液体喷射头和液体喷射设备适用于打印机、复印机、具有通讯系统的传真机以及具有打印机部的设备(例如文字处理器)，并且还适用于与各种处理设备复合地组合的工业印刷设备。例如，它们还可以用于例如制作生物芯片和电子电路印刷的应用。

以下描述的实施例是合适的具体示例，因此实施例包括各种技术上有利的限定。然而，本发明不限于说明书中描述的实施例和其他具体方法。

第一实施例