[发明专利]一种扩散式光声微腔气体传感器在审
| 申请号： | 201910604705.7 | 申请日： | 2019-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN110333190A | 公开（公告）日： | 2019-10-15 |
| 发明（设计）人： | 陈珂;陈烨伟;刘帅;邓红 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | G01N21/17 | 分类号： | G01N21/17;G01N21/39 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 温福雪;侯明远 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光声 微腔 气体传感器 响应 高通滤波器 麦克风 扩散式 传感器 小孔 气体泄漏监测 电路板 待测气体 高灵敏度 光声信号 截止频率 测量光 成正比 灵敏度 体积小 功耗 显示屏 光源 扩散 保证 | ||
1.一种扩散式光声微腔气体传感器，其特征在于，所述的扩散式光声微腔气体传感器包括光源(1)、光声微腔(2)、小孔(3)、麦克风(4)、电路板(6)和显示屏(6)；在光声微腔(2)侧壁上开有小孔(3)，待测气体经过小孔(3)扩散进入到光声微腔(2)中；电路板(6)驱动光源(1)，发射的光声激励光入射到光声微腔(2)中；麦克风(4)探测光声微腔(2)中产生的光声压力波，电路板(6)测量光声信号的幅度后计算出待测气体的浓度；显示屏(6)与电路板(6)相连，用于显示气体浓度值。
2.根据权利要求1所述的扩散式光声微腔气体传感器，其特征在于，所述的光源(1)是LED或波长可调谐窄线宽激光光源。
3.根据权利要求1或2所述的扩散式光声微腔气体传感器，其特征在于，所述的小孔(3)的数量大于等于1。
4.根据权利要求1或2所述的扩散式光声微腔气体传感器，其特征在于，所述的麦克风(4)是驻极体麦克风或MEMS麦克风。
5.根据权利要求3所述的扩散式光声微腔气体传感器，其特征在于，所述的麦克风(4)是驻极体麦克风或MEMS麦克风。
6.根据权利要求1、2或5所述的扩散式光声微腔气体传感器，其特征在于，所述的电路板(6)主要具有光源驱动和信号采集与处理的功能。
7.根据权利要求3所述的扩散式光声微腔气体传感器，其特征在于，所述的电路板(6)主要具有光源驱动和信号采集与处理的功能。
8.根据权利要求4所述的扩散式光声微腔气体传感器，其特征在于，所述的电路板(6)主要具有光源驱动和信号采集与处理的功能。
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