[发明专利]一种柔性压力传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种柔性压力传感器，其特征在于，包括：导电层、粘附层和修饰层，所述导电层为两层，所述修饰层通过所述粘附层设置于两层所述导电层之间，所述修饰层为小分子材料层，且两个所述导电层之间产生遂穿电流。

2.根据权利要求1所述的柔性压力传感器，其特征在于，所述修饰层为长烷基链小分子材料层。

3.根据权利要求2所述的柔性压力传感器，其特征在于，所述修饰层为一至三层长烷基链小分子层。

4.根据权利要求3所述的柔性压力传感器，其特征在于，所述修饰层为单层长烷基链小分子层，且所述长烷基链小分子层通过所述粘附层设置于任一所述导电层的内侧。

5.根据权利要求3所述的柔性压力传感器，其特征在于，所述修饰层为双层长烷基链小分子层，且两层所述长烷基链小分子层分别通过所述粘附层设置于两个所述导电层内侧。

6.根据权利要求2所述的柔性压力传感器，其特征在于，所述修饰层为十八烷基三氯硅烷、十二硫醇、1-癸硫醇、十二烷基苯磺酸钠、十八烷基二羟乙基氧化胺中任一种。

7.根据权利要求1所述的柔性压力传感器，其特征在于，所述粘附层为硅胶或银胶。

8.一种如权利要求1-7中任一项所述的柔性压力传感器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

通过气相聚合法、刮涂、旋涂或抽滤法制作导电层；

将硅胶稀释到质量百分比10％-50％的浓度，然后通过旋涂方法在导电层表面制备粘附层；

将制备有粘附层的导电层置于培养皿内，向培养皿内滴入长烷基链小分子材料，密封容器后置于真空烘箱内加热挥发，在粘附层表面形成修饰层；

将两个经过长烷基链小分子材料层修饰过的导电层，具有修饰层的一面对向叠加后，周边用硅胶或者灌封胶进行封装。

9.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于，所述粘附层的旋涂包括：

500转/分，匀胶10秒；

4000-8000转/分，旋涂60秒；

将旋涂有粘附层的导电层置于烘箱内，在80-150度温度下烘干固化30-90分钟。

10.根据权利要求9所述的制备方法，其特征在于，所述修饰层的制备包括：

在容器内滴入长烷基链小分子材料1-10滴；

密封容器后置于真空烘箱内在120度温度下加热烘干1小时。