[发明专利]晶棒治具及晶棒研磨方法

说明书

本发明提供了一种晶棒治具及晶棒研磨方法，涉及晶棒研磨相关设备的技术领域，该晶棒治具包括底座，底座上设置有多个高度调节机构，每个高度调节机构的一端设置有安装部，安装部用于安装晶棒。本发明通过在底座上设置多个高度调节机构，且多个高度调节机构能够对其各自的安装部的高度进行调节，相应的，可通过调节每个高度调节机构使得安装部上的晶棒的端面处于同一高度，如此，可将多根晶棒的端面同时与砂轮研磨面调整到合适位置，因此在端面研磨机上，进行一次治具的安装后，可进行多根晶棒的研磨，提高了端面研磨机的磨削效率。

技术领域

本发明涉及晶棒研磨相关设备的技术领域，尤其是涉及一种晶棒治具及晶棒研磨方法。

背景技术

碳化硅是继第一代半导体Si(硅)、第二代半导体GaAs(砷化镓)，InP(磷化铟)等之后发展起来的重要的第三代半导体材料，具有禁带宽度大，热导率高、电子饱和漂移速率大、临界击穿电场高和相对介电常数低等的特点，在高温、高频、大功率、微电子器件等方面和航天、军工、核能等极端环境应用中有着不可替代的优势，因此，碳化硅是微电子、电力电子和光电子等高新技术持续发展的重要半导体材料之一。近年来迅速渗透到照明，电力器件，微波射频等，其中，在功率器件的制造和外延生长中，对碳化硅单晶材料最终的表面质量有严格的要求，想得到一片完整的碳化硅衬底，需要经过很多道工序进行加工，因此，切割前对碳化硅晶棒端面进行磨削是必不可少的。

然而由于碳化硅晶棒很短(8mm-25mm)，采用传统治具装夹到碳化硅晶棒时，一方面容易导致晶棒边缘出现崩角或夹不住状况，另一方面由于一次只能装夹一根碳化硅晶棒，导致在端面研磨机上一次只能磨削一根碳化硅晶棒，磨削效率低。

现有通常采用安装有砂轮的端面研磨机等对碳化硅的晶棒端面进行研磨，在研磨前需要先定位砂轮与碳化硅的晶棒端面的位置，现有技术寻找碳化硅端面与砂轮端面的方法，主要是以碳化硅晶棒底面为基准，然后通过三爪卡盘将碳化硅晶棒夹住，而后进行定位。但是由于碳化硅本身晶棒较短(8mm-25mm)，采用三爪卡盘固定碳化硅晶棒圆边，一方面很难将晶棒有效夹住；另一方面在夹住的过程由于碳化硅晶棒很硬，容易在夹紧的过程中造成崩边，影响碳化硅晶棒的品质；同时，采用三爪卡盘固定碳化硅晶棒时，一次通常只能夹住一根碳化硅晶棒，并且由于晶棒的长短不同，即使能够同时夹住多根碳化硅晶棒，也难以将多根碳化硅晶棒的端面与砂轮研磨面同时调整到合适位置，因此在端面研磨机上，一次也只能磨削一根碳化硅晶棒，限制了端面研磨机的磨削效率。

发明内容

本发明的第一目的在于提供一种治具，以缓解现有技术中，由于晶棒的长短不同，即使采用夹具能够同时夹住多根碳化硅晶棒，也难以将多根碳化硅晶棒的端面同时与砂轮研磨面调整到合适位置，因此在端面研磨机上，一次也只能磨削一根碳化硅晶棒，限制了端面研磨机的磨削效率的技术问题。

本发明的第二目的在于提供一种晶棒研磨方法，以缓解现有技术中，由于晶棒的长短不同，即使采用夹具能够同时夹住多根碳化硅晶棒，也难以将多根碳化硅晶棒的端面同时与砂轮研磨面调整到合适位置，因此在端面研磨机上，一次也只能磨削一根碳化硅晶棒，限制了端面研磨机的磨削效率的技术问题。

基于上述第一目的，本发明提供的晶棒治具，包括底座，所述底座上设置有多个高度调节机构，每个所述高度调节机构的一端设置有安装部，所述安装部用于安装晶棒，所述高度调节机构用于调节所述安装部相对所述底座的高度，以使多个所述安装部上安装的晶棒的端面处于同一高度。

进一步地，所述高度调节机构为带有螺帽的调节螺栓，所述螺帽远离螺纹柱的一端具有用于粘结晶棒的平面，所述调节螺栓的螺帽形成所述安装部；

所述底座上设置有螺纹孔，所述调节螺栓的螺纹柱螺接在所述螺纹孔内。

进一步地，所述晶棒治具还包括砂轮修整块，所述砂轮修整块安装在所述底座上，且所述砂轮修整块能够相对所述底座进行高度调节。

进一步地，多个所述高度调节机构排列成两行；