[发明专利]一种高纯氮气或氩气纯化设备有效

专利信息
申请号: 201910966817.7 申请日: 2019-10-12
公开(公告)号: CN110639332B 公开(公告)日: 2022-05-10
发明(设计)人: 沈建林;张金波;陈旭明;蒋宏达 申请(专利权)人: 杭州新世纪混合气体有限公司
主分类号: B01D53/04 分类号: B01D53/04;C01B21/04;C01B23/00
代理公司: 杭州龙华专利代理事务所(特殊普通合伙) 33302 代理人: 方琦
地址: 311107 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 高纯 氮气 纯化 设备
【权利要求书】:

1.一种高纯氮气或氩气纯化设备,其特征在于,包括通过管路连接的第一纯化罐与第二纯化罐,所述第一纯化罐通过管路连接进气口与若干截止阀,第一纯化罐内部设有第一吸附层,所述第二纯化罐通过管路连接出气口,内部设有第二吸附层;

所述第一纯化罐和第二纯化罐均包括有罐体,罐体内壁对应一层吸附层有一个弹性连接处,所述弹性连接处的顶端与所述吸附层连接,所述罐体外侧对应弹性连接处位置设置有波形传输点,所述波形传输点的背面与弹性连接处的底端位于同一位置,所有的波形传输点以竖直排布的形式固定在所述罐体的表面,所述任意相邻吸附层之间均通过一条金属传动线连接,所有的吸附层与金属传动线连接的位置均相同;

还配置有检测吸附层的完整性波形完整度检测装置,所述波形完整度检测装置包括一个波形发生器、波形检测器、波形比较器和若干安装抱箍,所述波形发生器和波形检测器均固定在所述的安装抱箍内,检测时所述安装抱箍抱设在所述罐体的波形传输点位置处,波形发生器和波形检测器均贴附在所述波形传输点位置处,所述波形发生器输出波形至波形比较器的第一输入端,所述波形发生器输出的波形还依次通过对应吸附层波形传输点、对应吸附层弹性连接处、对应吸附层、金属传动线、相邻吸附层、相邻吸附层弹性连接处和相邻吸附层波形传输点传输至波形接收器,波形接收器进行降噪放大后传输至波形比较器的第二输入端,所述波形接收器配置的降噪调节和放大调节电路由人工进行标定;

完整性波形完整度检测装置采集所有的波形,并对波形做出傅里叶变换或小波傅里叶变换,获取当前采集波形的频率数据,同时对驱动波也进行傅里叶变换或小波傅里叶变换,对比采集到的波形频率和驱动波的波形频率的差值,由于吸附层完整性破损后共振被破坏,一旦波形频率存在较大差异性,判定完整性出现问题,籍此来完成吸附层的完整性检测。

2.根据权利要求1所述的一种高纯氮气或氩气纯化设备,其特征在于,所述第一吸附层内胆为菱形体,内部填充有5A分子筛。

3.根据权利要求1所述的一种高纯氮气或氩气纯化设备,其特征在于,所述第二吸附层内胆为顶角为倒圆的菱形体,内部填充有碳分子筛。

4.根据权利要求1所述的一种高纯氮气或氩气纯化设备,其特征在于,所述第一纯化罐与第二纯化罐的罐体外覆有加热毯,内部均设有热电偶。

5.根据权利要求1所述的一种高纯氮气或氩气纯化设备,其特征在于,出口处设有背压阀。

6.根据权利要求1所述的一种高纯氮气或氩气纯化设备,其特征在于,管道上还设有若干压力表。

7.根据权利要求1所述的一种高纯氮气或氩气纯化设备,其特征在于,所述罐体内壁在弹性连接处的外缘包设有一圈减振圈,所述减振圈与罐体的内壁固定连接,所述罐体内壁对应减振圈位置包设有金属隔离壳,所述金属隔离壳与减振圈之间存在有空隙。

8.根据权利要求1或7所述的一种高纯氮气或氩气纯化设备,其特征在于,所述弹性连接处为水平凸起,所述水平凸起横向开设有一个弧形槽,所述弧形槽的槽体填设有簧片,对应吸附层插接在所述弧形槽内且与簧片固定连接,所述弧形槽槽底的中心位置位于所述波形传输点的背面,所述吸附层与金属传动线连接的位置为吸附层圆心至弹性连接处的中心处。

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