[发明专利]用于硅片的毛刷辊双面清洗装置

权利要求书

1.一种用于硅片的毛刷辊双面清洗装置，其特征在于：包括机架以及水平设置在机架内的第一输送皮带和第二输送皮带，所述第一输送皮带的尾部与第二输送皮带的头部上下交错衔接，所述第二输送皮带设置在第一输送皮带上方，所述第一输送皮带的正上方以及第二输送皮带的正下方还设有毛刷辊组件，每个所述毛刷辊组件包括一对侧板、毛刷辊和一对从动辊，一对所述侧板对称设置在机架的前后内壁上，所述侧板顶部凹设有第一滑槽、第二滑槽和第三滑槽，一对所述从动辊通过其两端设置的第一轴承座分别与第一滑槽、第三滑槽上下滑动连接，所述毛刷辊通过其两端设置的第二轴承座与第二滑槽上下滑动连接，所述第一轴承座和第二轴承座的顶部均凹设有螺纹孔，所述侧板顶部设有盖板，所述盖板上分别设有延伸至第一滑槽、第二滑槽、第三滑槽内的三个螺栓，三个所述螺栓分别与第一滑槽内第一轴承座上的螺纹孔、第二滑槽内第二轴承座上的螺纹孔以及第三滑槽内第一轴承座上的螺纹孔配合螺纹连接，所述第一输送皮带和第二输送皮带均内设有朝向毛刷辊设置的负压吸片装置。

2.根据权利要求1所述的一种用于硅片的毛刷辊双面清洗装置，其特征在于：所述第一输送皮带的正上方以及第二输送皮带的正下方还设有多个压辊机构，每个所述压辊机构包括一对U型支撑件和压辊，一对所述支撑件对称设置在机架的前后内壁上，所述压辊的两端与一对U型支撑件卡接。

3.根据权利要求2所述的一种用于硅片的毛刷辊双面清洗装置，其特征在于：所述U型支撑件的两侧端面上均开设有长条形通孔，所述通孔内设有螺栓，所述U型支撑件通过螺栓与机架内壁固定连接。

4.根据权利要求2所述的一种用于硅片的毛刷辊双面清洗装置，其特征在于：所述压辊机构有四个，四个所述压辊机构分别设置在第一输送皮带的两端以及第二输送皮带的两端。

5.根据权利要求1所述的一种用于硅片的毛刷辊双面清洗装置，其特征在于：所述机架内设有通过皮带驱动两根毛刷辊的毛刷辊驱动电机，所述机架内还设有通过皮带同时驱动第一输送皮带和第二输送皮带的皮带驱动电机。

6.根据权利要求1所述的一种用于硅片的毛刷辊双面清洗装置，其特征在于：所述第一滑槽及第三滑槽内均设有套设在螺栓上的弹簧。

7.根据权利要求1所述的一种用于硅片的毛刷辊双面清洗装置，其特征在于：所述负压吸片装置包括负压抽吸室以及与负压抽吸室贯通连接的负压源。

8.根据权利要求1所述的一种用于硅片的毛刷辊双面清洗装置，其特征在于：所述第一输送带和第二输送皮带上设有配合负压吸片装置的通孔。