[发明专利]一种高度测量装置

说明书

本发明的实施例提供了一种高度测量装置，涉及半导体领域。高度测量装置包括测量组件、固定组件及按压组件，测量组件安装在固定组件上，按压组件与固定组件活动连接；按压组件的一端用于与产品接触，按压组件用于带动固定组件向靠近产品的安装平面的方向运动，其中，产品放置在安装平面上；测量组件用于当固定组件与安装平面接触时，测量产品的高度偏差。在本发明中，将产品放置在安装平面上后，推动按压组件即可测量产品的高度偏差，操作简单，产品放置在同一位置，提高了产品的高度偏差的测量精度及测量效率。

技术领域

本发明涉及半导体领域，具体而言，涉及一种高度测量装置。

背景技术

当前应用的碟刷因为生产批次问题，造成碟刷高度有所差异。这个差异会造成碟刷安装在碟刷支架上以后高低相差太多，安装以后影响清洗效果。

当前使用的测量技术主要是依靠人工进行测量，将一块百分表固定在万向结上，再将万向结吸附在铁板上，将碟刷倒扣在大理石平台上，用百分表接触测量点，通过百分表读数进行记录。这种测量方法，测量效率低下，读数因为个人调整不同，容易混乱。

发明内容

本发明的目的是提供一种高度测量装置，本发明提供的高度测量装置主要用于测量产品的高度偏差，从而来判断产品的合格率。本实施例提供的高度测量装置操作简单，产品放置在同一位置，提高了产品的高度偏差的测量精度及测量效率。

本发明的实施例可以这样实现：

第一方面，本发明实施例提供一种高度测量装置，用于测量产品的高度偏差，包括：测量组件、固定组件及按压组件，所述测量组件安装在所述固定组件上，所述按压组件与所述固定组件活动连接；

所述按压组件的一端用于与所述产品接触，所述按压组件用于带动所述固定组件向靠近所述产品的安装平面的方向运动，其中，所述产品放置在所述安装平面上；

所述测量组件用于当所述固定组件与所述安装平面接触时，测量所述产品的高度偏差。

在可选的实施方式中，所述按压组件包括推杆、第一挡板及第二挡板，所述第一挡板及所述第二挡板分别与所述推杆的两端连接，所述推杆与所述固定组件活动连接，所述第一挡板用于与所述产品接触，所述第二挡板用于选择性地与所述固定组件抵持。

在可选的实施方式中，所述固定组件上设置有安装孔，所述推杆安装在所述安装孔内，与所述固定孔活动配合。

在可选的实施方式中，所述按压组件还包括第一弹性件，所述第一弹性件设置在所述第一挡板与所述推杆之间。

在可选的实施方式中，所述按压组件还包括第二弹性件，所述第二弹性件设置在所述第二挡板与所述推杆之间。

在可选的实施方式中，所述固定组件包括固定板及多个固定杆，多个所述固定杆均匀设置在所述固定板的四周，所述按压组件与所述固定板活动连接；

所述按压组件用于带动所述固定板向靠近所述安装平面的方向运动时；

所述测量组件用于当所述固定杆与所述安装平面接触时，测量所述产品的高度偏差。

在可选的实施方式中，所述固定杆与所述固定板通过可拆卸地固定。

在可选的实施方式中，所述测量组件包括测量部及固定架，所述测量部安装在所述固定架上，所述固定架与所述固定组件连接，所述测量部与所述按压组件接触。

在可选的实施方式中，所述固定架包括相互连接的连杆及安装座，所述连杆与所述按压组件对应设置，所述安装座安装在所述固定组件上，所述测量部安装在所述连杆上。

在可选的实施方式中，所述安装座与所述固定组件可拆卸地固定。