[发明专利]基于AAO模板的碳基纳米材料的制备方法

权利要求书

1.基于AAO模板的碳基纳米材料的制备方法，其特征在于，具体步骤如下：

步骤(1)，对纯度99.999％的铝片进行切片、清洗、退火、抛光预处理；

步骤(2)，对预处理后的铝片进行一次阳极氧化；

步骤(3)，将一次阳极氧化后的铝片浸泡在5～6wt％H₃PO₄和1.5～4wt％CrO₃的混合溶液中，浸泡温度为60～70℃，时间30～40min，溶解氧化层；

步骤(4)，对溶解部分氧化层后的抛光铝片进行二次氧化，制备高度有序的AAO模板；

步骤(5)，将二次氧化后的铝片浸泡在5～6wt％H₃PO₄溶液中，浸泡温度为30～35℃，时间30～32min，对步骤(4)制备的AAO模板扩孔，得到孔径大小一致的AAO模板；

步骤(6)，采用化学气相沉积技术在步骤(5)制备的AAO模板沉积碳纳米材料：在真空条件下，将步骤(5)制备的AAO模板置于管式炉中，先升温至450℃，通入Ar；然后升温至500～600℃时，通入H₂，继续升温至600～650℃时，通入C₂H₂，其中Ar流量为360～400SCCM，H₂流量为55～60SCCM，C₂H₂流量为110～120SCCM，调节真空泵阀门维持管内气压45～50kPa，反应时间60～70min。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(2)和(4)中，采用的阳极氧化电解液选自磷酸电解液、草酸电解液或硫酸电解液。

3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，步骤(2)和(4)中，采用磷酸电解液时，电解液的浓度为0.2～0.6mol/L，温度在0～2℃，氧化电压45～80V，时间10～20min。

4.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，步骤(2)和(4)中，采用草酸电解液时，电解液的浓度为0.2～0.6mol/L，温度在0～2℃，氧化电压30～50V，时间10～20min。

5.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，步骤(2)和(4)中，采用硫酸电解液，电解液的浓度为0.2～0.6mol/L，温度在0～2℃，氧化电压10～25V，时间10～20min。

6.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，步骤(6)中，升温速度为10℃/min。