[发明专利]飞秒激光微加工的同步监测装置

权利要求书

1.飞秒激光微加工的同步监测装置，包括调节底座(1)，所述调节底座(1)上设置有加工件(11)，所述调节底座(1)位于飞秒激光器(9)一侧，其特征在于，所述调节底座(1)上固定连接有第一驱动电机(2)，所述第一驱动电机(2)驱动端固定连接有第一驱动轴(3)，所述第一驱动轴(3)上固定连接有第一齿轮盘(10)，所述加工件(11)位于第一齿轮盘(10)中心处，所述调节底座(1)上通过转轴(5)转动连接有传动齿轮(4)，所述调节底座(1)上通过第二驱动轴(7)连接有第二齿轮盘(6)，所述第一齿轮盘(10)和第二齿轮盘(6)均与所述的传动齿轮(4)啮合，所述第二齿轮盘(6)上通过第一驱动机构滑动连接有第一滑杆(8)，所述第一滑杆(8)上固定连接有底板(12)，所述底板(12)上通过第二驱动机构滑动连接有第二滑杆(14)，所述第二滑杆(14)上端安装有监测用的CCD(22)，所述第一齿轮盘(10)和第二齿轮盘(6)的直径相同，

其中

在进行加工时，使得加工件(11)的加工点位于第一齿轮盘(10)的中心处，当所述第一驱动电机(2)带动所述的第一齿轮盘(10)旋转A度时：

所述第一驱动机构驱动所述的第一滑杆(8)的距离为Δa：

Δa＝a＝c*sinA；

所述第二驱动机构驱动所述的第二滑杆(14)的距离为Δb：

Δb＝c-bsinB＝c-bsin(90°-A)；

其中，c为第一齿轮盘(10)中心到第二齿轮盘(6)中心距离；

a为第二齿轮盘(6)中心到第一滑杆(8)与监测用的CCD(22)交点处位置；

b为第一齿轮盘(10)中心到第一滑杆(8)与监测用的CCD(22)交点处位置。

2.根据权利要求1所述的飞秒激光微加工的同步监测装置，其特征在于，所述第一驱动机构包括固定在第二齿轮盘(6)上的第二驱动电机(25)，所述第二驱动电机(25)驱动端固定连接有第一驱动齿轮(26)，所述第一滑杆(8)底侧固定连接有与第一驱动齿轮(26)啮合的第一齿条(27)。

3.根据权利要求2所述的飞秒激光微加工的同步监测装置，其特征在于，所述第一滑杆(8)底侧固定连接有滑条(23)，所述第二齿轮盘(6)上开设有与滑条(23)匹配的第一滑槽(24)，所述第一齿条(27)固定连接在滑条(23)上。

4.根据权利要求1所述的飞秒激光微加工的同步监测装置，其特征在于，所述第二驱动机构包括固定在第二滑杆(14)上的第三驱动电机(28)，所述第三驱动电机(28)驱动端固定连接有第二驱动齿轮(29)，所述底板(12)上固定连接有与第二驱动齿轮(29)啮合的第二齿条(30)。

5.根据权利要求4所述的飞秒激光微加工的同步监测装置，其特征在于，所述底板(12)上开设有供第二滑杆(14)滑动第二滑槽(13)。

6.根据权利要求1所述的飞秒激光微加工的同步监测装置，其特征在于，所述第二滑杆(14)上滑动连接有第一调节板(17)，所述第一调节板(17)上固定连接有第二调节板(21)，所述第二调节板(21)上滑动连接有调节块(19)，所述监测用的CCD(22)连接在调节块(19)上。

7.根据权利要求6所述的飞秒激光微加工的同步监测装置，其特征在于，所述调节块(19)上铰接有用于夹紧所述监测用的CCD(22)的夹紧套(20)。

8.根据权利要求6所述的飞秒激光微加工的同步监测装置，其特征在于，所述第一调节板(17)底侧固定连接有滑块(16)，所述第二滑杆(14)上开设有与滑块(16)匹配的滑槽(18)。

9.根据权利要求1-8任一项所述的飞秒激光微加工的同步监测装置，其特征在于，所述第二滑杆(14)上设有供飞秒激光器(9)发射激光穿过的通道(15)。