[发明专利]双头喷嘴结构、清洗设备及清洗方法

权利要求书

1.一种双头喷嘴结构，其特征在于，包括：

用于喷布药液的第一喷嘴和第二喷嘴；

固定模块，其连接并固定所述第一喷嘴和所述第二喷嘴，并使所述第一喷嘴与所述第二喷嘴的药液喷布方向具有夹角。

2.根据权利要求1所述的双头喷嘴结构，其特征在于，所述固定模块包括：

第一连杆，其具有第一喷嘴连接端和第一固定轴连接端，所述第一喷嘴连接端连接并固定所述第一喷嘴；

第二连杆，其具有第二喷嘴连接端和第二固定轴连接端，所述第二喷嘴连接端连接并固定所述第二喷嘴；

固定轴，其用于活动连接所述第一固定轴连接端和所述第二固定轴连接端，所述第一连杆和所述第二连杆在垂直于所述固定轴的平面内绕所述固定轴可动，且所述第一连杆与所述第二连杆之间的夹角角度可调；

底板，其具有第一夹持面，所述固定轴固定连接所述底板并垂直于所述第一夹持面；

压板，其具有第二夹持面；所述压板与所述底板固定连接，且所述第二夹持面与所述第一夹持面相对设置并夹持固定所述第一连杆和所述第二连杆。

3.根据权利要求2所述的双头喷嘴结构，其特征在于，所述双头喷嘴结构还包括用于调节所述第一喷嘴与所述第二喷嘴的药液喷布方向的夹角的角度调节模块。

4.根据权利要求3所述的双头喷嘴结构，其特征在于，所述角度调节模块包括：

滑块，其设有第一限位桩和第二限位桩；所述第一连杆上设有与所述第一限位桩对应的第一限位槽，所述第二连杆上设有与所述第二限位桩对应的第二限位槽；所述第一限位桩嵌设于所述第一限位槽中且沿所述第一限位槽可动；所述第二限位桩嵌设于所述第二限位槽中且沿所述第二限位槽可动；

旋钮丝杆，其一端连接所述滑块，另一端连接所述底板；所述旋钮丝杆用于调整所述滑块与所述底板之间的相对位置；

所述第一限位槽沿所述第一连杆的长度方向延伸，所述第二限位槽沿所述第二连杆的长度方向延伸；当所述第一限位桩和所述第二限位桩分别沿所述第一限位槽或所述第二限位槽远离所述第一喷嘴或所述第二喷嘴时，所述第一喷嘴与所述第二喷嘴的药液喷布方向的夹角角度增大；当所述第一限位桩和所述第二限位桩分别沿所述第一限位槽或所述第二限位槽靠近所述第一喷嘴或所述第二喷嘴时，所述第一喷嘴与所述第二喷嘴的药液喷布方向的夹角角度减小。

5.根据权利要求2所述的双头喷嘴结构，其特征在于，所述第一喷嘴和所述第二喷嘴上分别设有螺孔，所述第一喷嘴连接端和所述第二喷嘴连接端上分别设有安装通孔，所述第一连杆和所述第二连杆通过螺栓固定连接所述第一喷嘴和所述第二喷嘴，所述螺栓穿过所述安装通孔并固定于所述螺孔中。

6.根据权利要求5所述的双头喷嘴结构，其特征在于，所述安装通孔为多个且位于同一圆形的圆周上；所述安装通孔为圆弧腰孔，所述圆弧腰孔沿所述圆形的圆周方向延伸。

7.根据权利要求1所述的双头喷嘴结构，其特征在于，所述第一喷嘴和所述第二喷嘴分别设有用于接受药液供给的药液接头。

8.一种清洗设备，其特征在于，包括：

晶圆载台，其用于固定待清洗的晶圆并带动所述晶圆旋转；

如权利要求1至7中任意一项所述的双头喷嘴结构，其用于向所述晶圆表面喷布药液。

药液供给模块，其连接所述双头喷嘴结构，并向所述双头喷嘴结构供给药液；

机械臂，其用于将所述双头喷嘴结构固定于所述晶圆的上方。

9.根据权利要求8所述的清洗设备，其特征在于，所述机械臂包括安装板，所述双头喷嘴结构活动连接所述安装板，且所述双头喷嘴结构与所述安装板的相对位置可调。

10.一种基于权利要求8所述清洗设备的清洗方法，其特征在于，包括如下步骤：

将所述晶圆装载至所述晶圆载台，并将所述第一喷嘴和所述第二喷嘴对准所述晶圆的边缘区域；

通过所述晶圆载台带动所述晶圆旋转，并通过所述药液供给模块向所述第一喷嘴供给药液，由所述第一喷嘴向所述晶圆喷布药液；在所述药液喷布至所述晶圆表面的位置上，所述晶圆的运动方向与所述药液的喷布方向的夹角为锐角；

反转所述晶圆的旋转方向，并通过所述药液供给模块向所述第二喷嘴供给药液，由所述第二喷嘴向所述晶圆喷布药液；在所述药液喷布至所述晶圆表面的位置上，所述晶圆的运动方向与所述药液的喷布方向的夹角为锐角。