[发明专利]金属谐振型太赫兹超材料的制造方法、超材料及吸波器

权利要求书

1.一种金属谐振型太赫兹超材料的制造方法，所述方法包括以下步骤：

第一步骤（S1）中，三维建模金属谐振型太赫兹超材料的微结构，其特征尺寸小于太赫兹波长，所述微结构包括设在上表面的开口以及与所述开口连通的槽和/或腔；

第二步骤（S2）中，切片所述微结构，经由3D打印机微纳米级打印生成由所述微结构周期性排列构成的金属谐振型太赫兹超材料的聚合物三维结构；

第三步骤（S3）中，所述三维结构浸没到装有金属粉末的容器中，在增压环境下振动所述容器使得金属粉末经由开口填充三维结构的槽和/或腔；

第四步骤（S4）中，刮除三维结构表面的金属粉末；

第五步骤（S5）中，在三维结构上表面涂胶以封闭所述开口，生成金属谐振型太赫兹超材料。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，第一步骤（S1）中，槽和/或腔包括用于产生电谐振响应的连续槽和/或开口环，和/或用于产生磁谐振响应的渔网腔。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，第一步骤（S1）中，使用CAD三维建模金属谐振型太赫兹超材料的微结构并输出所述微结构的数字模型。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，第三步骤（S3）中，金属粉末包括金粉末或银粉末，所述容器包括敞口容器，所述特征尺寸包括长、宽和高。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，第三步骤（S3）中，在密封的增压罐中，振动马达振动所述容器使得金属粉末在重力和压力作用下经由开口填充三维结构的槽和/或腔。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，所述上表面设有多个开口，所述槽和/或腔从上表面往下的方向上占的空间越来越小。

7.一种金属谐振型太赫兹超材料，其特征在于，其经由如权利要求1-6中任一项所述的方法制成。

8.一种吸波器，其特征在于，所述吸波器由所述权利要求7所述的金属谐振型太赫兹超材料制成。