[发明专利]一种用于高纯电子级化学混配装置的上料结构

权利要求书

1.一种用于高纯电子级化学混配装置的上料结构，包括接收箱（1），所述接收箱（1）上设置有进料口（2）和出料口（3），且所述接收箱（1）的顶部连接有净化机构（4），所述进料口（2）连接有软管（5）且软管（5）的另一端连接有与试剂储存罐的罐口连接的对接装置（6），所述对接装置（6）上连接有用于翻转试剂储存罐的翻转架（7），所述对接装置（6）包括对接管道（8），所述对接管道（8）的一端与软管（5）连接，且所述对接管道（8）的另一端连接有锁紧连接装置（9），所述对接管道（8）的外侧壁设置有安装凸块（10），所述锁紧连接装置（9）包括对接环（11），所述对接环（11）与对接管道（8）连接，且所述对接环（11）的另一端连接有楔块（12），所述对接环（11）的外侧表面通过螺纹连接有锁紧环（13），所述锁紧环（13）的外侧啮合连接有齿轮（14），所述对接管道（8）的侧壁设置有第一电机（15），所述第一电机（15）的输出端与齿轮（14）固定连接，所述安装凸块（10）内设置有第一伸缩杆（16），所述第一伸缩杆（16）的输出端连接有固定块（17），所述固定块（17）上安装有真空吸盘（18）。

2.根据权利要求1所述的一种用于高纯电子级化学混配装置的上料结构，其特征在于：所述翻转架（7）包括固定架（19），所述固定架（19）的两侧壁均通过轴承连接有转动轴（20），且两个所述转动轴（20）的之间连接有托盘（21），所述托盘（21）的上方设置有限位框（22），任意一个所述转动轴（20）的一端连接有第二电机（23）。

3.根据权利要求2所述的一种用于高纯电子级化学混配装置的上料结构，其特征在于：所述固定架（19）的顶部连接有安装板（24），且所述安装板（24）的底部设置有第二伸缩杆（25），所述第二伸缩杆（25）的输出端连接有工字杆（26），所述对接管道（8）的外部设置有档杆（27）。

4.根据权利要求1所述的一种用于高纯电子级化学混配装置的上料结构，其特征在于：所述净化机构（4）包括百级层流罩（28），所述百级层流罩（28）的底部连接有缓存箱（29），所述缓存箱（29）与接收箱（1）之间连接有输气管（30）。

5.根据权利要求4所述的一种用于高纯电子级化学混配装置的上料结构，其特征在于：所述输气管（30）上设置有控制阀（31）。