[发明专利]一种用于高纯电子级化学混配装置的上料结构

说明书

本发明公开了一种用于高纯电子级化学混配装置的上料结构，包括接收箱，所述接收箱上设置有进料口和出料口，且所述接收箱的顶部连接有净化机构，所述进料口连接有软管且软管的另一端连接有与试剂储存罐的罐口连接的对接装置，所述对接装置上连接有用于翻转试剂储存罐的翻转架，此用于高纯电子级化学混配装置的上料结构，通过翻转架来承载试剂储存罐，并在装入后由对接装置中的对接管道与罐口连接，接着有锁紧连接装置进行锁紧完成密封，紧接着第二电机带动托盘翻转使储存罐倾斜，试剂由软管进入到接收箱，净化机构通入洁净空气到接收箱内，以便于接收箱接收试剂时与储存罐置换气体，且避免对接装置脱离时通入外部空气，从而使试剂被污染。

技术领域

本发明涉及化工设备技术领域，具体为一种用于高纯电子级化学混配装置的上料结构。

背景技术

高纯电子级化学试剂是超大规模集成电路制作过程中的关键性基础化工材料之一，主要用于芯片的清洗、刻蚀，另外超净高纯试剂还用于芯片掺杂和沉淀工艺，超净高纯试剂的纯度与洁净度对集成电路的成品率、电性能以及可靠性均有十分重要的影响。

工厂在进行单一试剂混合产生化学反应生成所需要的化学合成试剂时，需要将不同的单一材料进行混合，如果直接进行倾倒，该方式单一试剂会存在与空气接触的过程，电子级化学试剂需要在密闭洁净环境条件下( 百级以下) 以避免被污染，因此需要设置洁净空间，但这些装置均较大，洁净大型空间会带来较大的成本，并且在单一试剂的不断输送到洁净空间的过程也会使洁净空间被污染。为此，我们提出一种用于高纯电子级化学混配装置的上料结构。

发明内容

本发明的目的在于提供一种成本低且不会被污染的用于高纯电子级化学混配装置的上料结构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种用于高纯电子级化学混配装置的上料结构，包括接收箱，所述接收箱上设置有进料口和出料口，且所述接收箱的顶部连接有净化机构，所述进料口连接有软管且软管的另一端连接有与试剂储存罐的罐口连接的对接装置，所述对接装置上连接有用于翻转试剂储存罐的翻转架。

优选的，所述对接装置包括对接管道，所述对接管道的一端与软管连接，且所述对接管道的另一端连接有锁紧连接装置，所述对接管道的外侧壁设置有安装凸块，对接管道连接与接收箱连接，另一端通过锁紧连接装置来与试剂的储存罐连接并锁紧实现密封。

优选的，所述锁紧连接装置包括对接环，所述对接环与对接管道连接，且所述对接环的另一端连接有楔块，所述对接环的外侧表面通过螺纹连接有锁紧环，所述锁紧环的外侧啮合连接有齿轮，所述对接管道的侧壁设置有第一电机，所述第一电机的输出端与齿轮固定连接，通过第一电机使齿轮带动锁紧环，从而使锁紧环挤压楔块，使楔块锁紧试剂的储存罐，实现自动锁紧。

优选的，所述安装凸块内设置有第一伸缩杆，所述第一伸缩杆的输出端连接有固定块，所述固定块上安装有真空吸盘，真空吸盘可吸附在试剂的储存罐的密封内盖上，然后由第一伸缩杆带动，从而在密闭环境下自动揭盖，避免污染。

优选的，所述翻转架包括固定架，所述固定架的两侧壁均通过轴承连接有转动轴，且两个所述转动轴的之间连接有托盘，所述托盘的上方设置有限位框，任意一个所述转动轴的一端连接有第二电机，第二电机转动能带动转动轴从而使托盘转动，以便于试剂储存罐进行倾斜，从而倒出试剂。

优选的，所述固定架的顶部连接有安装板，且所述安装板的底部设置有第二伸缩杆，所述第二伸缩杆的输出端连接有工字杆，所述对接管道的外部设置有档杆，工字杆通过档杆实现对接装置的上升与下降，从而实现对接与分离。

优选的，所述净化机构包括百级层流罩，所述百级层流罩的底部连接有缓存箱，所述缓存箱与接收箱之间连接有输气管，百级层流罩产生所需的洁净空气输入到缓存箱，然后由输气管输入到接收箱，以方便换气且不污染试剂。

优选的，所述输气管上设置有控制阀，控制阀用来控制洁净空气的通入与闭合以及通入速率，以便于进行调节合适速率。