[发明专利]一种硅片加工用清洗装置

权利要求书

1.一种硅片加工用清洗装置，包括清洗框（1），其特征在于，所述清洗框（1）的一侧外壁固定连接有正反转电机（16），且正反转电机（16）的输出轴延伸入清洗框（1）内的一端固定连接有螺纹丝杠（3），螺纹丝杠（3）的一端与清洗框（1）的一侧内壁之间通过轴承转动连接，所述螺纹丝杠（3）的外壁螺纹连接有活动座（9），且活动座（9）的顶部中间位置固定连接有支撑垫，支撑垫的顶部固定连接有置物台（2），置物台（2）的顶部开有多个置物槽（19），所述清洗框（1）的顶部一侧固定连接有第一电动推杆（5），且第一电动推杆（5）的活塞杆底部固定连接有安装板，所述安装板的底部固定连接有转动电机（13），且转动电机（13）的输出轴底部固定连接有活动盘（6），活动盘（6）的底部固定连接有环形毛刷板（14），环形毛刷板（14）的底部粘接有刷毛；

所述清洗框（1）的顶部一侧内壁固定连接有安装框，且安装框的顶部内壁固定连接有风扇（12），安装框的顶部与清洗框（1）的顶部开有多个导气口（4），导气口（4）的内壁固定连接有防尘网，安装框的底部开有出气口；

所述安装框的相对一侧内壁固定连接有电加热丝（11）；

所述置物台（2）的中间位置开有空腔（20），且空腔（20）的两侧顶部与置物槽（19）的两侧内壁之间开有活动槽，空腔（20）的底部内壁中间位置固定连接有第二电动推杆（21），第二电动推杆（21）的活塞端顶部固定连接有活动杆（22），活动杆（22）延伸入置物槽（19）内的一端固定连接有推板（23）。

2.根据权利要求1所述的一种硅片加工用清洗装置，其特征在于，所述清洗框（1）的底部内壁固定连接有储水室（7），且储水室（7）的底部内壁固定连接有抽水泵（8），抽水泵（8）的顶部固定连接有延伸出清洗框（1）的排水管（17），排水管（17）延伸入清洗框（1）内的一端固定连接有喷头（15）。

3.根据权利要求2所述的一种硅片加工用清洗装置，其特征在于，所述储水室（7）的一侧底部和清洗框（1）的一侧底部开有排水口，且排水口的内壁插接有密封塞。

4.根据权利要求3所述的一种硅片加工用清洗装置，其特征在于，所述置物槽（19）的底部开有多个漏水孔（18）。

5.根据权利要求4所述的一种硅片加工用清洗装置，其特征在于，所述清洗框（1）的相对一侧内壁之间固定连接有导引杆（10），且导引杆（10）的外壁滑动连接有与活动座（9）的底部外壁固定连接的滑座。

6.根据权利要求1-5任一所述的一种硅片加工用清洗装置，其特征在于，所述清洗框（1）的底部四角均固定连接有万向轮。