[发明专利]一种硅片加工用清洗装置

说明书

本发明公开了一种硅片加工用清洗装置，包括清洗框，所述清洗框的一侧外壁固定连接有正反转电机，且正反转电机的输出轴延伸入清洗框内的一端固定连接有螺纹丝杠，螺纹丝杠的一端与清洗框的一侧内壁之间通过轴承转动连接，所述螺纹丝杠的外壁螺纹连接有活动座，且活动座的顶部中间位置固定连接有支撑垫，支撑垫的顶部固定连接有置物台，置物台的顶部开有多个置物槽，所述清洗框的顶部一侧固定连接有第一电动推杆。本发明利用排水管和喷头将水喷射在置物台上，带动环形毛刷板和刷毛进行转动，从而对硅片进行清洗处理，代替人工清洗操作，并且可便于对清洗后的硅片进行烘干处理，提高装置的工作效率。

技术领域

本发明涉及硅片加工技术领域，尤其涉及一种硅片加工用清洗装置。

背景技术

硅片是制作晶体管和集成电路的原料，是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件，用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力。科学技术的发展不断推动着半导体的发展。自动化和计算机等技术发展，使硅片这种高技术产品的造价已降到十分低廉的程度。

目前，现有的硅片在进行加工时，需要对硅片表面进行清洗处理，人们在对进行清洗时，多为手工操作，不仅加大人们的劳动程度，而且在清洗时也存在造成硅片损伤的问题，因此，亟需设计一种硅片加工用清洗装置来解决上述问题。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种硅片加工用清洗装置。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

一种硅片加工用清洗装置，包括清洗框，所述清洗框的一侧外壁固定连接有正反转电机，且正反转电机的输出轴延伸入清洗框内的一端固定连接有螺纹丝杠，螺纹丝杠的一端与清洗框的一侧内壁之间通过轴承转动连接，所述螺纹丝杠的外壁螺纹连接有活动座，且活动座的顶部中间位置固定连接有支撑垫，支撑垫的顶部固定连接有置物台，置物台的顶部开有多个置物槽，所述清洗框的顶部一侧固定连接有第一电动推杆，且第一电动推杆的活塞杆底部固定连接有安装板，所述安装板的底部固定连接有转动电机，且转动电机的输出轴底部固定连接有活动盘，活动盘的底部固定连接有环形毛刷板，环形毛刷板的底部粘接有刷毛。

优选地：所述清洗框的底部内壁固定连接有储水室，且储水室的底部内壁固定连接有抽水泵，抽水泵的顶部固定连接有延伸出清洗框的排水管，排水管延伸入清洗框内的一端固定连接有喷头。

优选地：所述储水室的一侧底部和清洗框的一侧底部开有排水口，且排水口的内壁插接有密封塞。

优选地：所述置物槽的底部开有多个漏水孔。

优选地：所述清洗框的相对一侧内壁之间固定连接有导引杆，且导引杆的外壁滑动连接有与活动座的底部外壁固定连接的滑座。

优选地：所述清洗框的顶部一侧内壁固定连接有安装框，且安装框的顶部内壁固定连接有风扇，安装框的顶部与清洗框的顶部开有多个导气口，导气口的内壁固定连接有防尘网，安装框的底部开有出气口。

优选地：所述安装框的相对一侧内壁固定连接有电加热丝。

优选地：所述清洗框的底部四角均固定连接有万向轮。

优选地：所述置物台的中间位置开有空腔，且空腔的两侧顶部与置物槽的两侧内壁之间开有活动槽，空腔的底部内壁中间位置固定连接有第二电动推杆，第二电动推杆的活塞端顶部固定连接有活动杆，活动杆延伸入置物槽内的一端固定连接有推板。

本发明的有益效果为：