[实用新型]一种通用且能匹配大尺寸硅片的石墨舟及其石墨舟片有效
| 申请号： | 201920047657.1 | 申请日： | 2019-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN209357747U | 公开（公告）日： | 2019-09-06 |
| 发明（设计）人： | 余波;郑方渊;张华;冯晓倩 | 申请（专利权）人： | 上海弘竣实业有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L21/673;H01L21/68 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201708 上海市青浦区华*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石墨舟片 匹配 硅片放置 石墨舟 陶瓷杆 硅片 卡点 通孔 本实用新型 大尺寸硅片 卡槽 加工技术领域 太阳能电池片 传统石墨 通用 可拆卸 两组 限位 对称 下边 | ||
1.一种石墨舟片，包括石墨舟片本体（1）、硅片放置位（2）和陶瓷杆通孔（7），所述的石墨舟片本体（1）上均匀设有若干组硅片放置位（2），所述的硅片放置位（2）上边和下边均对称设有两组陶瓷杆通孔（7），其特征在于，还包括若干组用于对156-161.75mm规格的硅片进行限位的卡槽（5）和卡点（6），所述的若干组卡槽（5）上均可拆卸地设有一组卡点（6）；所述的卡点（6）的直径为3mm-8mm。
2.根据权利要求1所述的一种石墨舟片，其特征在于，所述卡点（6）的直径为4.5mm-6.5mm。
3.根据权利要求1所述的一种石墨舟片，其特征在于，所述的上下相邻两组陶瓷杆通孔（7）之间的距离d不小于179mm，所述的左右相邻两组陶瓷杆通孔（7）之间的距离e不小于177.2mm。
4.根据权利要求1所述的一种石墨舟片，其特征在于，所述的卡槽（5）设有三组，其中一组设置在硅片放置位（2）的左上方，另外两组设置在硅片放置位（2）的右下方。
5.根据权利要求4所述的一种石墨舟片，其特征在于，所述卡槽（5）的直径不小于8mm。
6.根据权利要求5所述的一种石墨舟片，其特征在于，所述卡槽（5）上设有用于对M3硅片（3）进行限位且直径为6.5mm的卡点（6），所述的M3硅片（3）放置在硅片放置位（2）上，且其与水平线的夹角α不大于4.45°。
7.根据权利要求5所述的一种石墨舟片，其特征在于，所述卡槽（5）上设有用于对M4硅片（4）进行限位且直径为4.5mm的卡点（6），所述的M4硅片（4）放置在硅片放置位（2）上，且其与水平线的夹角β不大于2.29°。
8.一种包括如权利要求1-7任一项所述的石墨舟片的石墨舟，其特征在于，所述的石墨舟是通过陶瓷杆将所述的石墨舟片串联而成的。
9.根据权利要求8所述的一种石墨舟，其特征在于，所述的陶瓷杆的直径不大于8mm。
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