[实用新型]一种通用且能匹配大尺寸硅片的石墨舟及其石墨舟片

说明书

本实用新型公开了一种通用且能匹配大尺寸硅片的石墨舟及其石墨舟片，属于太阳能电池片加工技术领域。该石墨舟片包括石墨舟片本体、硅片放置位、陶瓷杆通孔以及若干组用于对156‑161.75mm规格的硅片进行限位的卡槽和卡点；其中，所述的石墨舟片本体上均匀设有若干组硅片放置位，所述的硅片放置位上边和下边均对称设有两组陶瓷杆通孔，所述的若干组卡槽上可拆卸地设有一组卡点；所述的卡点的直径为3mm‑8mm。本实用新型通过改变石墨舟片内部卡槽、卡点以及陶瓷杆通孔的分布，以实现匹配大尺寸的硅片的目的，故石墨舟片整体的总长度以及包含该石墨舟片的石墨舟的最大外形尺寸并没有发生变化，从而可以解决传统石墨舟无法匹配M3、M4硅片的问题。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池片加工技术领域，具体是一种通用且能匹配大尺寸硅片的石墨舟及其石墨舟片。

背景技术

石墨舟是用于太阳能电池片进行PECVD镀膜时的一种承载工具，由多个石墨舟片以及其它配件串联组成的。其中，硅片是太阳能电池片的基体，将硅片放在石墨舟片的硅片放置位上，再通过石墨舟片的卡点进行卡住硅片，可以稳固硅片，便于PECVD镀膜加工。目前，市面上推出了M3硅片（边长尺寸为158.75±0.5mm）、M4硅片（边长尺寸为161.75±0.5mm）等大尺寸的太阳能硅片新产品，相比于此前推出的M0硅片（边长尺寸为156.0±0.5mm）、M2硅片（边长尺寸为156.75±0.25mm）的多晶硅硅片，M3硅片和M4硅片的能量转换效率有了较大幅度的提升。

然而，现有的石墨舟和石墨舟片只能匹配M2或者更小尺寸的硅片，无法与M3硅片和M4硅片等大尺寸的硅片进行匹配，导致需要采购较大的设备和石墨舟来生产大尺寸的硅片，其成本太高，难以推广。故急需一种可以匹配M3硅片和M4硅片且改造成本不会太高的石墨舟片和石墨舟，以便在不改变PECVD镀膜设备的情况下，能对M3硅片和M4硅片等较大尺寸的硅片进行PECVD镀膜处理。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种通用且能匹配大尺寸硅片的石墨舟及其石墨舟片，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种石墨舟片，包括石墨舟片本体、硅片放置位、陶瓷杆通孔以及若干组用于对156-161.75mm规格的硅片进行限位的卡槽和卡点；其中，所述的石墨舟片本体上均匀设有若干组硅片放置位，所述的硅片放置位上边和下边均对称设有两组陶瓷杆通孔，所述的若干组卡槽上均可拆卸地设有一组卡点；所述的卡点的直径为3mm-8mm。

作为本实用新型进一步的方案，所述卡点的直径为4.5mm-6.5mm。

作为本实用新型再进一步的方案，根据权利要求1所述的一种石墨舟片，其特征在于，所述的上下相邻两组陶瓷杆通孔之间的距离d不小于179mm，所述的左右相邻两组陶瓷杆通孔之间的距离e不小于177.2mm。

作为本实用新型再进一步的方案，所述的卡槽设有三组，其中一组设置在硅片放置位的左上方，另外两组设置在硅片放置位的右下方。

作为本实用新型再进一步的方案，所述卡槽的直径不小于8mm。

作为本实用新型再进一步的方案，所述卡槽上设有用于对M3硅片进行限位且直径为6.5mm的卡点，所述的M3硅片放置在硅片放置位上，且其与水平线的夹角α不大于4.45°。

作为本实用新型再进一步的方案，所述卡槽上设有用于对M4硅片进行限位且直径为4.5mm的卡点，所述的M4硅片放置在硅片放置位上，且其与水平线的夹角β不大于2.29°。

本实用新型还提供一种包括上述石墨舟片的石墨舟，其中，所述的石墨舟是通过陶瓷杆将所述的石墨舟片串联而成的。

作为本实用新型再进一步的方案，所述的陶瓷杆的直径不大于8mm。