[实用新型]被清洗工件表面不结冰的干冰雪精密清洗系统

说明书

本实用新型公开了一种被清洗工件表面不结冰的干冰雪精密清洗系统，包括推动气源、气管、液态二氧化碳源、液管、同轴喷管、同轴喷嘴和加热管，气管的入口与高压气源的出口连接，液管的入口与液态二氧化碳源的出口连接，气管的出口与液管的出口均与同轴喷管的入口连接，同轴喷管的出口与同轴喷嘴的入口连接；内部设有电加热丝或电加热管的加热管串联安装于气管上。本实用新型通过增加加热管对推动气体进行加热，使同轴喷管内和通过同轴喷嘴喷出的干冰雪的温度提高，加热的推送气体加快干冰雪中的固体二氧化碳升华、气化，气化产生的爆发力使其清洁效果更好；由于温度升高，清洁工件表面不会结冰，提高了清洁效果；同时温度升高能防止喷嘴结冰堵塞。

技术领域

本实用新型涉及一种干冰雪精密清洗系统，尤其涉及一种被清洗工件表面不结冰的干冰雪精密清洗系统。

背景技术

干冰雪精密清洗装置广泛用于光纤端面、光学镜头、精密模具、焊接夹具和晶圆等工件的清洁处理，其以液化二氧化碳为原料，用推送气体吹送喷出形成推送雪花状干冰微粒，对工件表面的污垢或灰尘进行清洗，在电学、光学领域中使用广泛。

传统的干冰干冰雪精密清洗装置没有加热功能，其喷出的干冰雪微粒温度很低，会导致工件表面有结冰现象，降低了清洁效果，同时喷嘴也可能因为结冰而堵塞。

专利号为“ZL 201280012621.0”的发明专利公开了一种干冰雪喷射装置，其抑制二氧化碳气体的消耗损失、并且宽度较宽地喷射干冰雪，从而实现高效清洗。所述干冰雪喷射装置具备：用于生成干冰雪的二氧化碳气体供给源；用于供给用于推进干冰雪的整流气体的整流气体供给源；干冰雪精密清洗口；以及夹着上述干冰雪喷射装置口而倾斜对置的第一整流气体喷出口，由此使喷射的干冰雪在整流气体的作用下变得扁平，因此不产生以往那样的干冰雪与喷嘴内表面发生碰撞所带来的损失、颗粒，从而能够防止产生二氧化碳气体的损失、清洗不合格这样的情况。如此，能够抑制二氧化碳气体的消耗损失并且实现高效且高品质的清洗。

但是，上述干冰雪喷射装置没有对推送气体加热，所以喷出的干冰雪微粒温度很低，会导致喷嘴内侧表面和被清洗工件表面结冰，降低了清洁效果。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种被清洗工件表面不结冰的干冰雪精密清洗系统。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：

一种被清洗工件表面不结冰的干冰雪精密清洗系统，包括推动气源、气管、液态二氧化碳源、液管、同轴喷管和同轴喷嘴，所述气管的入口与所述推动气源的出口连接，所述液管的入口与所述液态二氧化碳源的出口连接，所述气管的出口与所述液管的出口均与所述同轴喷管的入口连接，所述同轴喷管的出口与所述同轴喷嘴的入口连接；所述干冰雪精密清洗系统还包括加热管，内部设有电加热丝或电加热管的所述加热管串联安装于所述气管上。这里的同轴喷管和同轴喷嘴是将两种介质即推送气体和液态二氧化碳集成在一起高速喷出的器件；加热管本身是截面积大于气管的空心管，其内设置电加热丝或电加热管(电加热管内装电加热丝)，实现对推送气体的加热。

进一步，所述干冰雪精密清洗系统还包括温度传感器和温度控制器，所述温度传感器安装于所述气管上位于所述加热管出口侧的位置并用于检测所述加热管与所述同轴喷管之间的推动气体的温度，所述温度传感器的信号输出端与所述温度控制器的信号输入端连接，所述温度控制器的控制电源输出端与所述加热管的电源输入端连接。

进一步，所述干冰雪精密清洗系统还包括串联安装于所述气管上位于所述加热管入口侧位置的调压阀、压力表、流量开关和压力控制开关。

进一步，所述干冰雪精密清洗系统还包括串联安装于所述液管上的精密流量阀。

为了减少杂质、提高清洁效果，所述气管上串联安装有气体过滤器，所述液管上串联安装有液体过滤器。

本实用新型的有益效果在于：