[实用新型]气体湿度以及流量自动控制系统

权利要求书

1.一种气体湿度以及流量自动控制系统，其特征在于，包括湿度交换器，所述湿度交换器包括湿润气体输入端、干燥气体输出端、干燥气体输入端、湿润气体输出端，所述干燥气体输出端与第一管路的一端连接，所述第一管路的另一端用于连接需要可控湿度气体的设备的进气口，所述干燥气体输入端与第二管路的一端连接，所述第二管路的另一端用于连接需要可控湿度气体的设备的出气口，所述湿度交换器的湿润气体输出端与气体排出管连接，所述第二管路上设置有数控流量调节阀，所述气体排出管上设置有气压传感器和可调速真空泵，所述气压传感器、可调速真空泵、数控流量调节阀分别与控制电路连接，所述控制电路根据所述气压传感器的数值通过可调速真空泵、数控流量调节阀控制湿度交换器的干燥气体输出端排出空气的湿度。

2.如权利要求1所述的气体湿度以及流量自动控制系统，其特征在于，所述第一管路上设置有湿度传感器和流量传感器，所述湿度传感器和流量传感器分别与控制电路连接。

3.如权利要求2所述的气体湿度以及流量自动控制系统，其特征在于，湿度交换器包括腔体，所述腔体内部分隔为第一腔室和第二腔室，第一腔室和第二腔室之间设置有湿度交换单元，所述湿润气体输入端、干燥气体输出端与第一腔室联通，所述干燥气体输入端、湿润气体输出端与第二腔室联通，所述湿度交换单元用于使第一腔室内的湿润气体和第二腔室内的干燥气体湿度交换。