[实用新型]一种带一体式滚轮的链式清洗机

说明书

本实用新型提供了一种带一体式滚轮的链式清洗机。它解决了现有输送辊上具有凸槽并另加装氟胶圈，两个月左右正常使用的氟胶圈部分会发生不规则膨胀变形，此时1200个氟胶圈就必须得更换，清洗成本高等技术问题。本带一体式滚轮的链式清洗机，包括机架，机架上固定有清洗水槽，清洗水槽内水平设置有若干输送辊一和若干输送辊二，且输送辊一与输送辊二相邻间隔排列，输送辊一上具有偶数个传输轮一，传输轮一与输送辊一为一体式结构，输送辊二上具有奇数个传输轮二，传输轮二与输送辊二为一体式结构，且相邻两个传输轮一之间具有一个传输轮二，清洗水槽上还具有能驱动输送辊一与输送辊二同步转动的驱动机构。本实用新型具有清洗成本低的优点。

技术领域

本实用新型属于机械技术领域，涉及一种链式清洗机，特别是一种带一体式滚轮的链式清洗机。

背景技术

硅片在扩散过程中，虽然采用背靠背扩散，但硅片的边缘将不可避免地扩散上磷；PN结的正面所收集到的光生电子会沿着边缘扩散有磷的区域流到PN结的背面，而造成短路。利用HNO₃和HF的混合液体对扩散后硅片下表面和边缘进行腐蚀，去除边缘的N型硅，使得硅片的上下表面相互绝缘，在此过程中需用到一种硅片传送滚轮，使得硅片在清洗机内传送并使液体与硅片只在下表面和硅片边缘发生反应。

现有输送辊上具有凸槽并另加装氟胶圈，氟胶圈成本较高，两个月左右正常使用的氟胶圈部分会发生不规则膨胀变形，在传送过程中硅片会发生上下起伏，造成边缘过刻或刻蚀不足，严重影响产品的质量和效率，此时1200个氟胶圈就必须得更换，6个人徒手需更换需要2个小时，提高了设备的运行成本和降低了设备的运行时间，清洗成本高。因此，设计出一种带一体式滚轮的链式清洗机是很有必要的。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种带一体式滚轮的链式清洗机，该链式清洗机具有清洗成本低的特点。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：一种带一体式滚轮的链式清洗机，包括机架，其特征在于，所述机架上固定有清洗水槽，清洗水槽上部具有开口，清洗水槽上还铰接有能将开口封闭住的箱盖，箱盖上固定有操作把手，清洗水槽内水平设置有若干输送辊一和若干输送辊二，且输送辊一与输送辊二相邻间隔排列，输送辊一上具有偶数个传输轮一，传输轮一与输送辊一为一体式结构，输送辊二上具有奇数个传输轮二，传输轮二与输送辊二为一体式结构，且相邻两个传输轮一之间具有一个传输轮二，清洗水槽上还具有能驱动输送辊一与输送辊二同步转动的驱动机构。

所述传输轮一和传输轮二均由PVDF材料制成。

所述驱动机构包括伺服电机、蜗杆、蜗轮、联动轴、若干主锥形齿轮一、若干主锥形齿轮二、若干从锥形齿轮一和若干从锥形齿轮二，伺服电机通过安装板固定在清洗水槽上，伺服电机的输出轴水平设置，蜗杆固定在伺服电机的输出轴端部，联动轴水平转动设置在清洗水槽内，且联动轴与输送辊一相互垂直，蜗轮、主锥形齿轮一和主锥形齿轮二分别固定在联动轴上，且蜗轮与蜗杆相啮合，从锥形齿轮一固定在输送辊一的端部，且从锥形齿轮一与主锥形齿轮一相啮合，从锥形齿轮二固定在输送辊二的端部，且从锥形齿轮二与主锥形齿轮二相啮合。

所述清洗水槽上还设置有辅助结构，辅助结构包括升降架、若干挡水条一和若干挡水条二，升降架设置在清洗水槽内，升降架与一能带动其上下移动的移动结构相连，挡水条一通过连杆一倾斜固定在升降架上，且挡水条一能靠近输送辊一，挡水条一上具有若干过水细孔一，挡水条二通过连杆二倾斜固定在升降架上，且挡水条二能靠近输送辊二，挡水条二上具有若干过水细孔二。

所述移动结构包括立柱、推杆电机、导轨和滑块，立柱固定在清洗水槽上，导轨竖直固定在立柱上，滑块设置在导轨上，升降架通过联杆和滑块相连，推杆电机固定在立柱上，推杆电机的推杆竖直向下，推杆电机的推杆端部和滑块相连。

所述导轨上端固定有上限位块，导轨下端固定有下限位块。