[实用新型]单晶炉加热器提升装置有效
申请号: | 201920353274.7 | 申请日: | 2019-03-20 |
公开(公告)号: | CN209974960U | 公开(公告)日: | 2020-01-21 |
发明(设计)人: | 曹建伟;傅林坚;胡建荣;高宇;倪军夫;叶钢飞;春伟博;谭庆;黄伟 | 申请(专利权)人: | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14;C30B29/06 |
代理公司: | 33212 杭州中成专利事务所有限公司 | 代理人: | 周世骏 |
地址: | 312300 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 加热器 减速机 炉底板 丝杆 本实用新型 丝杆螺母 伺服电机 提升装置 上端 单晶炉 换向器 密封座 提升杆 支撑板 下端 坩埚 底板 机械技术领域 减速机输出端 单晶炉设备 减速机支座 连接固定板 输出端连接 一端连接 固定板 密封性 输入端 主炉室 装设 穿过 传递 保证 | ||
1.一种单晶炉加热器提升装置,其特征在于,包括动力装置、提升装置和密封装置;
所述动力装置包括伺服电机与减速机;伺服电机连接减速机的输入端,减速机安装在减速机支座上,减速机的输出端连接提升装置;
所述提升装置包括底板、换向器与丝杆;换向器固定在底板上,换向器一端与减速机输出端连接,一端连接丝杆下端;丝杆上设有丝杆螺母,丝杆螺母通过支撑板与密封装置相连;丝杆上端连接固定板,固定板上设有炉底板,炉底板上设有加热器;
所述密封装置包括密封座,密封座与所述支撑板相连,提升杆下端装设于密封座内;提升杆上端穿过炉底板并与加热器连接,波纹管套设于提升杆外部,波纹管顶端与炉底板相连。
2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述提升装置有多组并由连杆连接,实现同步运动。
3.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述波纹管为不锈钢波纹管。
4.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述提升杆为陶瓷提升杆,既能耐高温又能保证在于加热器连接时绝缘。
5.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述波纹管与炉底板通过上法兰连接,且上法兰与炉底板之间设有O型圈用于密封。
6.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述波纹管下端与密封座通过下法兰连接,且下法兰与密封座之间设有O型圈用于密封。
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