[实用新型]单晶炉加热器提升装置

说明书

本实用新型涉及机械技术领域，具体涉及一种单晶炉加热器提升装置。包括伺服电机；伺服电机连接减速机的输入端，减速机安装在减速机支座上，减速机的输出端连接提升装置；换向器固定在底板上，换向器一端与减速机输出端连接，一端连接丝杆下端；丝杆上设有丝杆螺母，丝杆螺母通过支撑板与密封装置相连；丝杆上端连接固定板，固定板上设有炉底板，炉底板上设有加热器；密封座与支撑板相连，提升杆下端装设于密封座内；提升杆上端穿过炉底板并与加热器连接，本实用新型改善了以前单晶炉设备中主炉室加热器无法提升的弊端，又能保证与单晶炉整体之间的密封性。加热器随着坩埚一起提升，使传递到坩埚上的热量更均匀，而且减少了能量的损耗。

技术领域

本实用新型涉及机械技术领域，具体涉及一种单晶炉加热器提升装置。

背景技术

单晶炉，即全自动直拉单晶生长炉，是一种在惰性气体环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。

单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。

拉晶炉的主炉室为圆柱形炉体，主炉室包括内筒和外筒，外筒套设在内筒的外部，在中炉体的内筒内设置石墨加热器，以提供热场。在现有技术中，加热器不可移动，而坩埚在拉晶过程中是不断上升的，这就导致加热器的部分热量无法辐射到坩埚上，造成能量的浪费，而且加热器随着坩埚一起提升，能使受热更均匀。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于，克服现有技术中的不足，提供一种单晶炉加热器提升装置。

本实用新型所采用的技术方案为：

提供一种单晶炉加热器提升装置，包括动力装置、提升装置和密封装置；

动力装置包括伺服电机与减速机；伺服电机连接减速机的输入端，减速机安装在减速机支座上，减速机的输出端连接提升装置；

提升装置包括底板、换向器与丝杆；换向器固定在底板上，换向器一端与减速机输出端连接，一端连接丝杆下端；丝杆上设有丝杆螺母，丝杆螺母通过支撑板与密封装置相连；丝杆上端连接固定板，固定板上设有炉底板，炉底板上设有加热器；

密封装置包括密封座，密封座与支撑板相连，提升杆下端装设于密封座内；提升杆上端穿过炉底板并与加热器连接，波纹管套设于提升杆外部，波纹管顶端与炉底板相连。波纹管随着密封座伸缩运动时，能保证密封装置和单晶炉体之间整体的密封性。

作为一种改进，提升装置有多组并由连杆连接，实现同步运动。

作为一种改进，波纹管为不锈钢波纹管，能够承受大于100℃的高温。

作为一种改进，提升杆为陶瓷提升杆，既能耐高温又能保证在于加热器连接时绝缘。

作为一种改进，波纹管与炉底板通过上法兰连接，且上法兰与炉底板之间设有O型圈用于密封。

作为一种改进，波纹管下端与密封座通过下法兰连接，且下法兰与密封座之间设有O型圈用于密封。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

改善了以前单晶炉设备中主炉室加热器无法提升的弊端，在控制加热器的升降的过程中，又能保证与单晶炉整体之间的密封性。加热器随着坩埚一起提升，使传递到坩埚上的热量更均匀，而且减少了能量的损耗。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图。

图2为本实用新型的密封装置局部结构示意图。