[实用新型]一种光刻机的取片装置

权利要求书

1.一种光刻机的取片装置，包括第一支撑板，其特征在于，所述第一支撑板的顶端侧壁固定有垂直设置的第二支撑板，第二支撑板的顶端侧壁固定有气缸，气缸的活塞杆穿过第二支撑板固定有滑板，且滑板的一端在第一支撑板侧壁滑动连接，所述滑板的底端侧壁滑动连接有滑块，滑块远离滑板的一端固定有第三支撑板，第三支撑板的底端两侧固定有对称设置的固定板，其中一个固定板的一侧侧壁固定有步进电机，步进电机的输出轴通过联轴器固定有转轴，转轴远离步进电机的一端与另一个所述固定板侧壁转动连接，所述转轴的外侧壁开设有反向设置的螺纹，所述第三支撑板的底端侧壁滑动连接有对称设置的移动板，移动板上开设有左右贯穿的螺纹孔，且转轴的一端穿过螺纹孔。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机的取片装置，其特征在于，所述移动板相互靠近的一侧侧壁开设有凹槽，凹槽的一侧侧壁连接有压力传感器，所述凹槽的两侧侧壁之间滑动连接有调节板，调节板远离压力传感器的一侧侧壁固定有压板。

3.根据权利要求2所述的一种光刻机的取片装置，其特征在于，所述调节板远离压板的一侧侧壁安装有与凹槽侧壁固定有复位弹簧。

4.根据权利要求1所述的一种光刻机的取片装置，其特征在于，所述滑板的底端一侧固定有推杆电机，推杆电机的输出轴与滑块侧壁固定。

5.根据权利要求1所述的一种光刻机的取片装置，其特征在于，所述第一支撑板的一侧侧壁底部固定有控制箱，控制箱的底部固定有红外线传感器，所述控制箱的内部设置有单片机，单片机的输入端连接有红外线传感器以及压力传感器，所述单片机的输出端连接有气缸、步进电机以及推杆电机。