[实用新型]一种具有纯化罐再生压力监控功能的纯化系统有效
申请号: | 201920895475.X | 申请日: | 2019-06-14 |
公开(公告)号: | CN210434235U | 公开(公告)日: | 2020-05-01 |
发明(设计)人: | 江晓松 | 申请(专利权)人: | 上海先普气体技术有限公司 |
主分类号: | B01D53/00 | 分类号: | B01D53/00;B01D53/30;G08B21/18;G08B7/06 |
代理公司: | 上海三和万国知识产权代理事务所(普通合伙) 31230 | 代理人: | 刘立平 |
地址: | 201109 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 具有 纯化 再生 压力 监控 功能 系统 | ||
1.一种具有纯化罐再生压力监控功能的纯化系统,包括第一纯化罐(A)和第二纯化罐(B),第一纯化罐(A)一端通过第一气动阀(AV1A)连接至进气口,另一端通过第二气动阀(AV2A)连接至出气口,第二纯化罐两端分别通过第三气动阀(AV1B)、第四气动阀(AV2B)与第一纯化罐(A)并联;第四气动阀(AV2B)出口通过依次连接第五气动阀(AV4A)、第一纯化罐(A)、再生尾气散热装置(C)、第六气动阀(AV3A)后接入尾气管路;第二气动阀(AV2A)出口通过依次连接第七气动阀(AV4B)、第二纯化罐(B)、再生尾气散热装置(C)、第八气动阀(AV3B)后接入尾气管路,其特征在于:在第四气动阀(AV2B)出口至第五气动阀(AV4A)及第二气动阀(AV2A)出口至第七气动阀(AV4B)之间的一共有管路上设有再生压力监控装置,包括依次设置第九气动阀(AV5)、波纹管计量阀(BMV1)、单向阀(CV1)、压力变送器(PX2),第九气动阀(AV5)的入口分别与第四气动阀(AV2B)、第二气动阀(AV2A)的出口相连,压力变送器(PX2)分别与第五气动阀(AV4A)、第七气动阀(AV4B)的进口相连。
2.如权利要求1所述的一种具有纯化罐再生压力监控功能的纯化系统,其特征在于,所述压力变送器(PX2)为具有用以显示实时压力的触摸显示屏的压力变送器。
3.如权利要求1所述的一种具有纯化罐再生压力监控功能的纯化系统,其特征在于,所述尾气管路包括依次设置的针阀(NV1)、流量计(FMO1)。
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