[实用新型]一种陶瓷高温真空烧结炉真空系统有效
| 申请号： | 201920920993.2 | 申请日： | 2019-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN210108049U | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 杨立秋;徐松林 | 申请（专利权）人： | 南京威途真空技术有限公司 |
| 主分类号： | F27D7/06 | 分类号： | F27D7/06;B01D46/00 |
| 代理公司： | 南京天翼专利代理有限责任公司 32112 | 代理人： | 尚于杰 |
| 地址： | 210048 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 陶瓷 高温 真空 烧结炉 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种陶瓷高温真空烧结炉真空系统，其特征在于，包括机械泵、罗茨真空泵和粉尘过滤装置；
所述粉尘过滤装置的入口端经过高真空挡板阀与真空烧结炉连通，粉尘过滤装置的出口端通过真空管路与罗茨真空泵的进气口连通，罗茨真空泵的出气口通过电磁放气阀与机械泵的入口连通。
2.根据权利要求1所述的陶瓷高温真空烧结炉真空系统，其特征在于，所述罗茨真空泵的出气口通过波纹管与电磁放气阀连通。
3.根据权利要求1或2所述的陶瓷高温真空烧结炉真空系统，其特征在于，所述粉尘过滤装置为XRF粉尘过滤器。
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