[实用新型]一种用于标注晶圆片参考点的治具

权利要求书

1.一种用于标注晶圆片参考点的治具，其特征在于，包括：前侧板、后侧板、左侧板、右侧板和上侧板；

所述晶圆片包括：晶圆本体和铁圈；

所述铁圈位于所述晶圆本体的圆周外侧，所述铁圈对应的上下左右四侧均设有切割直边，所述切割直边与所述晶圆本体上的切割槽平行或垂直，且所述铁圈在一切割直边的两侧设有标记缺口；

所述晶圆本体上设有第一定位辅助缺口；

所述前侧板和所述后侧板相互平行且相对设置，所述左侧板和所述右侧板相互平行且相对设置，所述前侧板、所述后侧板、所述左侧板和所述右侧板的顶端分别与所述上侧板垂直且固定连接，以围成一用于放置所述铁圈的容置空间，且所述标记缺口用于指示所述铁圈进入所述容置空间的进入方向；

所述前侧板为透明板；

所述前侧板上设有第二定位辅助缺口和第一标记孔；

所述第二定位辅助缺口与所述第一定位辅助缺口对应；

所述第一标记孔与所述晶圆片的参考点对应，用于标注所述晶圆片的参考点。

2.根据权利要求1所述的用于标注晶圆片参考点的治具，其特征在于，所述第一定位辅助缺口和所述第二定位辅助缺为V型缺口。

3.根据权利要求1所述的用于标注晶圆片参考点的治具，其特征在于，所述前侧板上设有第一镂空槽和第二镂空槽；

所述第一镂空槽水平设置；

所述第二镂空槽与所述第一镂空槽垂直相交设置，且所述第二镂空槽与所述第一镂空槽的交点形成所述第一标记孔。

4.根据权利要求1所述的用于标注晶圆片参考点的治具，其特征在于，所述前侧板上设有第一定位辅助线；

所述第一定位辅助线水平设置，位于所述前侧板的上部。

5.根据权利要求1所述的用于标注晶圆片参考点的治具，其特征在于，所述容置空间在所述后侧板的两侧设有第一垫板，所述第一垫板用于支撑所述铁圈。

6.根据权利要求2所述的用于标注晶圆片参考点的治具，其特征在于，所述后侧板为透明板；

所述后侧板上设有第三定位辅助缺口、第二定位辅助线和第二标记孔；

所述第三定位辅助缺口为V型缺口，与所述第一定位辅助缺口对应；

所述第二定位辅助线水平设置，位于所述后侧板的上部；

所述第二标记孔与所述晶圆片的参考点对应，用于标注所述晶圆片的参考点。

7.根据权利要求6所述的用于标注晶圆片参考点的治具，其特征在于，所述后侧板上设有第三镂空槽和第四镂空槽；

所述第三镂空槽水平设置；

所述第四镂空槽与所述第三镂空槽垂直相交设置，且所述第四镂空槽与所述第三镂空槽的交点形成所述第二标记孔。

8.根据权利要求6所述的用于标注晶圆片参考点的治具，其特征在于，所述容置空间在所述前侧板的两侧设有第二垫板，所述第二垫板用于支撑所述铁圈。

9.根据权利要求1所述的用于标注晶圆片参考点的治具，其特征在于，所述标记缺口为V型缺口。

10.根据权利要求1所述的用于标注晶圆片参考点的治具，其特征在于，所述前侧板、所述后侧板、所述左侧板、所述右侧板和所述上侧板均为亚克力板。