[实用新型]一种用于半导体及光电子无尘室的减震基座

权利要求书

1.一种用于半导体及光电子无尘室的减震基座，包括地板支撑脚座(1)和固定安装在地板支撑脚座(1)上方的减震装置(2)，其特征在于：所述减震装置(2)的上方安装有支撑柱(3)，所述支撑柱(3)是一种圆柱结构，其上方固定焊接有安装平台(4)，所述安装平台(4)是一种圆盘结构，所述支撑柱(3)的上端开设有卯眼(31)，所述卯眼(31)中固定安装有横梁(6)，所述横梁(6)是截面为矩形的长杆，所述地板支撑脚座(1)的上方固定安装有加重板(5)。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体及光电子无尘室的减震基座，其特征在于：所述地板支撑脚座(1)的底部固定安装有橡胶块(7)，所述橡胶块(7)是一种圆柱块状结构。

3.根据权利要求1所述的一种用于半导体及光电子无尘室的减震基座，其特征在于：所述加重板(5)是一个长方体板块，其四个角落开设有圆形槽口，该槽口与减震装置(2)嵌合设置，其材质为铸造钢。

4.根据权利要求3所述的一种用于半导体及光电子无尘室的减震基座，其特征在于：所述减震装置(2)包括外壳(21)和减震弹簧(22)，所述外壳(21)是一种圆管结构，其中间设置有截面为圆形的腔体结构，所述外壳(21)的腔体中设置有减震弹簧(22)，所述减震弹簧的下端固定连接在地板支撑脚座(1)上表面，其上端固定连接在支撑柱(3)的下表面，且支撑柱(3)总长的三分之一设置在外壳(21)的腔体之中。