[实用新型]一种光刻胶配套材料回收装置

权利要求书

1.一种光刻胶配套材料回收装置，其特征在于：包括连接在光刻胶喷涂机外壳(1)上的回收腔(19)，所述回收腔(19)上连接有输送管(13)，所述输送管(13)上通过可拆卸连接件(12)连接有“S”形连接管(10)，所述“S”形连接管(10)的另一端也连接有用于与喷涂机的光刻胶管道(8)的涂布头(5)连接的可拆卸连接件(12)，光刻胶管道(8)上也连接有控制阀(6)，所述控制阀(6)与涂布头(5)之间的光刻胶管道(8)上连接有增压泵(7)，喷涂机外壳(1)上设置有便于“S”形连接管(10)穿过的通孔，喷涂机外壳(1)上通过滑动机构滑动连接有密封门(4)。

2.根据权利要求1所述的一种光刻胶配套材料回收装置，其特征在于：所述可拆卸连接件(12)包括设置在“S”形连接管(10)、输送管(13)、涂布头(5)上的螺纹孔，所述螺纹孔上连接有与螺纹孔配合固定的螺栓。

3.根据权利要求1所述的一种光刻胶配套材料回收装置，其特征在于：所述回收腔(19)内连接有加热结构。

4.根据权利要求3所述的一种光刻胶配套材料回收装置，其特征在于：所述加热结构包括连接在回收腔(19)内的电加热管(16)，所述回收腔(19)外部连接有用于控制电加热管(16)的控制器。

5.根据权利要求1所述的一种光刻胶配套材料回收装置，其特征在于：所述“S”形连接管(10)和输送管(13)外部均涂覆有保温隔热漆。

6.根据权利要求1所述的一种光刻胶配套材料回收装置，其特征在于：所述回收腔(19)上连接有与喷涂机的光刻胶管道(8)连通的回流管(11)，所述回流管(11)上也连接有增压泵(7)，所述回流管(11)外部也涂覆有保温隔热漆。

7.根据权利要求1所述的一种光刻胶配套材料回收装置，其特征在于：所述通孔处连接有密封塞和密封组件。

8.根据权利要求7所述的一种光刻胶配套材料回收装置，其特征在于：所述密封组件包括设置在通孔内的凹槽(18)，所述凹槽(18)内连接有密封橡胶(17)，所述密封橡胶(17)与所述凹槽(18)之间连接有弹簧(15)。

9.根据权利要求1所述的一种光刻胶配套材料回收装置，其特征在于：所述滑动机构包括设置在喷涂机外壳(1)上的滑轨(2)，所述密封门(4)上连接有与所述滑轨(2)配合的滑块(9)，所述密封门(4)上连接有拉动把手(3)，所述密封门(4)上连接有锁紧结构。

10.根据权利要求9所述的一种光刻胶配套材料回收装置，其特征在于：所述锁紧结构包括设置在密封门(4)和与密封门(4)相对应的喷涂机外壳(1)上的矩形槽，所述矩形槽内连接有相互吸引的磁铁(14)。