[实用新型]清洗装置

说明书

本实用新型提供了一种清洗装置，该清洗装置包括泵结构、输送结构、中心轴、底座和至少一个支撑结构，所述中心轴的底部连接所述底座，所述泵结构设置在所述中心轴的顶部；所述至少一个支撑结构与所述中心轴转动连接；所述支撑结构上设置有固定部；所述输送结构的一端连接所述泵结构。采用该清洗设备可以可替代人工进行腐蚀清洗石英管，操作简单，安全性强，从而解决了现有技术中人工手动清洗石英管存在安全隐患的技术问题。

技术领域

本实用新型涉及半导体材料制备技术领域，具体涉及一种清洗装置。

背景技术

由于石英管所使用的范围是半导体行业，所以清洗石英管的工序是重中之重，腐蚀液必须是由盐酸和硝酸按比例配成的，这样腐蚀液可以腐蚀大部分的金属杂质，以保证石英管的洁净，避免引入杂质。之前的腐蚀石英管都是人工操作，由于场地局限性，市面上并没有相应的机器设备，但腐蚀液均为强酸，所以存在很大的安全隐患，并且腐蚀液和容器质量很大，人工的方法局限性很大，并不能达到人均都能操作的水平，对于工作的安排和工人的考量有着很大的局限性。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种清洗装置，该清洗装置采用耐强酸碱的泵结构取代人工操作，采用该清洗设备可以可替代人工进行腐蚀清洗石英管，操作简单，安全性强，以解决现有技术中人工手动清洗石英管存在安全隐患的技术问题。

为了实现上述目的，本实用新型提供了一种清洗装置。

该清洗装置包括泵结构、输送结构、中心轴、底座和至少一个支撑结构，其中：

所述中心轴的底部连接所述底座，所述泵结构设置在所述中心轴的顶部；

所述至少一个支撑结构与所述中心轴转动连接；所述支撑结构上设置有固定部；

所述输送结构的一端连接所述泵结构。

进一步的，所述支撑结构为盘状；所述支撑结构的中部设置有通孔，所述支撑结构通过所述通孔与所述中心轴转动连接。

进一步的，所述固定部为设置在所述支撑结构上的固定孔。

进一步的，所述支撑结构设置有三个，分别为第一转盘、第二转盘和第三转盘，且所述第一转盘、第二转盘和第三转盘沿所述中心轴的轴向从上向下依次排布；所述第一转盘、第二转盘和第三转盘均与所述中心轴轴承连接。

进一步的，所述第一转盘上设置有至少一个第一固定孔，所述第二转盘上设置有至少一个第二固定孔，所述第三转盘上设置有至少一个第三固定孔，并且所述第一固定孔、第二固定孔和所述第三固定孔同轴心设置。

进一步的，所述第一固定孔和所述第二固定孔的直径大于所述第三固定孔的直径。

进一步的，所述第一固定孔、第二固定孔和所述第三固定孔均设置有10个。

进一步的，所述泵结构包括自吸泵和用于驱动自吸泵的驱动电机，并且所述自吸泵和驱动电机的外侧均包覆有耐腐蚀材料层。

进一步的，所述输送结构包括第一输送管和第二输送管，所述第一输送管的一端连接所述自吸泵的入口；所述第二输送管的一端连接所述自吸泵的出口。

进一步的，所述第一输送管为软质管，所述第二输送管为硬质管，所述第一输送管的长度大于所述第二输送管的长度。

进一步的，所述第一输送管和所述第二输送管的外侧均设置有防护罩。

本实用新型的优点：

该装置结构简单、选材方便、易于维护；

无需操作人员手动清洗，只需要开启泵结构即可进行清洗操作，减少了人工操作，消除了腐蚀性的强酸对操作人员造成伤害的隐患，大大提高了操作人员的安全系数；