[实用新型]一种基于外差激光干涉仪同时测量距离和位移的装置

权利要求书

1.一种基于外差激光干涉仪同时测量距离和位移的装置，包括待测物体(40)，其特征在于：

设置有信号源(10)、外差激光干涉仪(20)和数字解调电路(30)；

其连接关系是：

信号源(10)与外差激光干涉仪(20)连接，用于调制激光频率和驱动声光移频器；信号源(10)同时与数字解调电路(30)连接，用于提供参考信号；外差激光干涉仪(20)与待测物体(40)连通，用于产生激光干涉拍频信号；外差激光干涉仪(20)与数字解调电路(30)连接，用于提供拍频信号。

2.按权利要求1所述的装置，其特征在于：

所述的外差激光干涉仪(20)包括激光器(21)、功率放大器(22)、声光移频器(23)、第1反射镜(241)、第2反射镜(242)和第3反射镜(243)、偏振分束器(25)、消偏振分束器(26)、λ/2波片(27)、λ/4波片(28)和光电探测器(29)；

信号源(10)分别与激光器(21)、功率放大器(22)和数字解调电路(30)连接，功率放大器(22)和声光移频器(23)连接，光电探测器(29)和数字解调电路(30)连接；

激光器(21)、第1反射镜(241)和声光移频器(23)依次连通；激光透过声光移频器(23)后产生零级光和一级光；一级光、第2反射镜(242)、第3反射镜(243)、消偏振分束器(26)和光电探测器(29)依次连通；零级光、λ/2波片(27)、偏振分束器(25)、λ/4波片(28)和待测物体(40)依次连通；从待测物体(40)反射的激光、λ/4波片(28)、偏振分束器(25)、消偏振分束器(26)和光电探测器(29)依次连通。

3.按权利要求1所述的装置，其特征在于：

所述的数字解调电路(30)包括参考时钟(31)、第1模数转换电路(321)、第2模数转换电路(322)、FPGA电路(33)、串口通讯(34)、计算机(35)、数模转换电路(36)、滤波放大电路(37)；

信号源(10)、第1模数转换电路(321)和FPGA电路(33)依次连接，外差激光干涉仪(20)、第2模数转换电路(322)和FPGA电路(33)依次连接；参考时钟(31)和FPGA电路(33)的时钟连接；FPGA电路(33)的时钟和第1模数转换电路(321)、第2模数转换电路(322)分别连接；FPGA电路(33)、串口通讯(34)和计算机(35)依次连接；FPGA电路(33)、数模转换电路(36)和滤波放大电路(37)依次连接。