[实用新型]晶圆盒

权利要求书

1.晶圆盒，包括盒体，所述盒体相对的两侧板的内壁上分别纵向设置有相互平行的隔板，相邻两所述隔板之间形成用于容纳晶圆载具的插槽，其特征在于，两所述侧板的前端分别设置有齿状结构，相邻两所述隔板分别延伸至所述齿状结构的齿顶和所述齿状结构的齿槽。

2.根据权利要求1所述的晶圆盒，其特征在于，所述盒体上设置有用于对所述晶圆载具进行限位的限位结构。

3.根据权利要求2所述的晶圆盒，其特征在于，所述限位结构包括相对设置在两所述侧板内侧的限位块，两所述限位块竖向设置在所述隔板的内表面。

4.根据权利要求2所述的晶圆盒，其特征在于，所述盒体的前端设置有用于对所述晶圆载具进行挡料的挡料机构。

5.根据权利要求4所述的晶圆盒，其特征在于，所述挡料机构包括

挡杆，所述挡杆包括上转动部、上连接部、挡料部、下连接部和下转动部，所述上转动部和所述下转动部均与所述挡料部平行设置，所述上连接部垂直连接在所述上转动部与所述挡料部之间，所述下连接部垂直连接在所述下转动部与所述挡料部之间；

安装孔，所述安装孔包括相对设置的上安装孔和下安装孔，所述上安装孔设置在所述侧板的上端，所述下安装孔设置在所述侧板的下端，所述上转动部转动设置在所述上安装孔内，所述下转动部转动设置在所述下安装孔内；

弹性件，所述弹性件用于给所述上转动部提供弹性回复力，所述弹性件设置在所述上安装孔内并位于所述上安装孔的孔底与所述上转动部之间；

第一卡槽，所述第一卡槽沿所述下安装孔的径向设置且横向设置在所述侧板的下端，当所述下连接部转动至所述第一卡槽的位置并卡入所述第一卡槽内时，所述挡料部对所述晶圆载具进行挡料。

6.根据权利要求5所述的晶圆盒，其特征在于，所述挡料机构还包括第二卡槽，所述第二卡槽沿所述下安装孔的径向设置，当所述下连接部转动至所述第二卡槽的位置并卡入所述第二卡槽时，所述挡料部解除对所述晶圆载具的挡料。

7.根据权利要求1所述的晶圆盒，其特征在于，各所述隔板前端的内侧均设置有倒角。

8.根据权利要求1所述的晶圆盒，其特征在于，所述盒体的顶部铰接有把手。

9.根据权利要求8所述的晶圆盒，其特征在于，所述盒体的顶部设置有用于放置所述把手的放置槽。

10.根据权利要求9所述的晶圆盒，其特征在于，两所述侧板的上端设置有用于盒体叠放时的定位销，所述盒体的底部设置有用于盒体叠放时的定位孔。