[实用新型]一种具有除尘功能的硅靶材研磨装置有效
| 申请号： | 201921495960.4 | 申请日： | 2019-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN210360835U | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 陈华鑫;高毅;苏志民;杨开怀 | 申请（专利权）人： | 厦门格雷迪科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B37/34;B24B55/06;B24B55/12 |
| 代理公司： | 泉州市兴博知识产权代理事务所(普通合伙) 35238 | 代理人： | 王成红 |
| 地址： | 361100 福建省厦门市火*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 具有 除尘 功能 硅靶材 研磨 装置 | ||
1.一种具有除尘功能的硅靶材研磨装置，其特征在于：包括研磨机本体(1)和除尘组件(4)，所述研磨机本体(1)顶部设置有一集气罩(2)，该集气罩(2)顶部两侧对称设置有两组气泵(3)，所述除尘组件(4)设置于该集气罩(2)顶部中心，且所述除尘组件(4)通过所述气泵(3)与所述集气罩(2)连通，所述除尘组件(4)顶部设置有定位架(5)；
所述除尘组件(4)包括箱体(401)和设置于该箱体(401)内部的多个集尘袋(402)，所述集尘袋(402)开口端与所述箱体(401)顶部相接，且所述集尘袋(402)封闭端伸出所述箱体(401)顶部，所述集尘袋(402)顶端设置有一顶杆(403)，所述集尘袋(402)外侧的所述箱体(401)上对称设置有两条连杆(405)，所述连杆(405)顶部均设置有提手(405a)，且两条所述连杆(405)底部通过刮板(406)相连，且所述刮板(406)上对应多组所述集尘袋(402)设置有多组刷毛孔(407)。
2.根据权利要求1所述一种具有除尘功能的硅靶材研磨装置，其特征在于：所述顶杆(403)顶部设置有一握把(404)，所述定位架(5)顶部对应所述握把(404)处设置有可与该顶杆(403)卡接的限位槽(501)，且该限位槽(501)宽度小于所述握把(404)长度。
3.根据权利要求1所述一种具有除尘功能的硅靶材研磨装置，其特征在于：所述箱体(401)顶部对应所述集尘袋(402)设置有多组通孔，该通孔下方的所述箱体(401)顶部内侧壁上均设置有安装环，所述集尘袋(402)开口端通过该安装环粘接固定于所述箱体(401)内侧顶部。
4.根据权利要求1所述一种具有除尘功能的硅靶材研磨装置，其特征在于：所述刷毛孔(407)为一圆孔结构，该圆孔结构内径大于所述集尘袋(402)外径，且所述圆孔结构内侧沿其周向均匀粘接有硬质刷毛。
5.根据权利要求1所述一种具有除尘功能的硅靶材研磨装置，其特征在于：所述集尘袋(402)为纱质丝线编织制成，且所述集尘袋(402)顶部与所述顶杆(403)粘接固定。
6.根据权利要求1所述一种具有除尘功能的硅靶材研磨装置，其特征在于：所述气泵(3)进气端通过导气管与所述集气罩(2)相连通，且所述气泵(3)出气端通过波纹管与所述箱体(401)侧壁相连通。
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