[实用新型]一种具有除尘功能的硅靶材研磨装置

说明书

本实用新型公开了一种具有除尘功能的硅靶材研磨装置，包括研磨机本体和除尘组件，所述研磨机本体顶部设置有一集气罩，该集气罩顶部两侧对称设置有两组气泵，所述除尘组件设置于该集气罩顶部中心，且所述除尘组件通过所述气泵与所述集气罩连通，所述除尘组件顶部设置有定位架。有益效果在于：本实用新型通过下压顶杆以带动集尘袋进入箱体内并实现翻转，从而将集尘袋内外壁进行调换，以将集尘袋内粘附的粉尘翻转到集尘袋外侧，而后通过上下抽动连杆以带动刮板移动，从而通过刮板上的刷毛孔对集尘袋上粘附的粉尘进行扫除，集尘袋的清洁过程无需开启箱体，实用性强。

技术领域

本实用新型涉及硅靶材生产设备领域，具体涉及一种具有除尘功能的硅靶材研磨装置。

背景技术

硅靶材是一种重要的磁控溅射镀膜靶材，在太阳能光伏、平面显示和触控等领域都有广泛应用。硅靶材在生产过程中，须使用研磨机对靶材表面进行研磨处理，使表面粗糙度达到Ra3.2甚至更高要求，以满足镀膜需求。

本申请人发现现有技术中至少存在以下技术问题：在研磨过程中会产生大量的粉尘飞屑，目前所使用的研磨设备不具有粉尘收集功能，对操作人员健康以及环境造成较大危害，实用性差。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种具有除尘功能的硅靶材研磨装置，对研磨产生的粉尘混合空气进行收集过滤，且可在不开启过滤设备的前提下对滤尘袋进行清洁，实用性强，详见下文阐述。

为实现上述目的，本实用新型提供了以下技术方案：

本实用新型提供的一种具有除尘功能的硅靶材研磨装置，包括研磨机本体和除尘组件，所述研磨机本体顶部设置有一集气罩，该集气罩顶部两侧对称设置有两组气泵，所述除尘组件设置于该集气罩顶部中心，且所述除尘组件通过所述气泵与所述集气罩连通，所述除尘组件顶部设置有定位架；

所述除尘组件包括箱体和设置于该箱体内部的多个集尘袋，所述集尘袋开口端与所述箱体顶部相接，且所述集尘袋封闭端伸出所述箱体顶部，所述集尘袋顶端设置有一顶杆，所述集尘袋外侧的所述箱体上对称设置有两条连杆，所述连杆顶部均设置有提手，且两条所述连杆底部通过刮板相连，且所述刮板上对应多组所述集尘袋设置有多组刷毛孔。

采用上述一种具有除尘功能的硅靶材研磨装置，在硅靶材研磨过程中，通过集气罩将研磨机本体产生的含尘气体进行收集，且通过气泵将含尘气体导入箱体内，不断进入所述箱体内的含尘气流通过集尘袋导出箱体，同时气体流过集尘袋过程中对粉尘进行过滤，粉尘被集尘袋阻挡收集，当需要对集尘袋内粘附余留的粉尘进行清理时，向下按压所述顶杆，通过顶杆带动集尘袋封闭端穿过所述箱体顶部，从而通过顶杆带动集尘袋向下移动，且在此过程中集尘袋内外壁产生翻转调换，粘附于集尘袋内壁的粉尘翻转到集尘袋外侧，而后通过上下拉动所述连杆，通过连杆带动刮板移动，从而通过刮板上刷毛孔内的刷毛对集尘袋外侧壁上的灰尘进行扫除，之后向上提起所述顶杆，通过顶杆带动集尘袋向上翻转复位，完成集尘袋内粉尘的刮除过程。

作为优选，所述顶杆顶部设置有一握把，所述定位架顶部对应所述握把处设置有可与该顶杆卡接的限位槽，且该限位槽宽度小于所述握把长度。

作为优选，所述箱体顶部对应所述集尘袋设置有多组通孔，该通孔下方的所述箱体顶部内侧壁上均设置有安装环，所述集尘袋开口端通过该安装环粘接固定于所述箱体内侧顶部。

作为优选，所述刷毛孔为一圆孔结构，该圆孔结构内径大于所述集尘袋外径，且所述圆孔结构内侧沿其周向均匀粘接有硬质刷毛。

作为优选，所述集尘袋为纱质丝线编织制成，且所述集尘袋顶部与所述顶杆粘接固定。

作为优选，所述气泵进气端通过导气管与所述集气罩相连通，且所述气泵出气端通过波纹管与所述箱体侧壁相连通。