[实用新型]一种适用于PECVD设备的桨杆装置有效
| 申请号： | 201921563314.7 | 申请日： | 2019-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN210575881U | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 王玉明;刘景博;陈晖;张庶 | 申请（专利权）人： | 苏州拓升智能装备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L31/18;C23C16/458 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人： | 韩飞 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 pecvd 设备 装置 | ||
1.一种适用于PECVD设备的桨杆装置，其特征在于，包括：桨杆组件(111)；以及
固接于所述桨杆组件(111)末端的承重杆夹紧组件(112)；
其中，所述承重杆夹紧组件(112)末端固接有高度调节组件(113)，所述高度调节组件(113)可对所述承重杆夹紧组件(112)末端高度微调。
2.如权利要求1所述的适用于PECVD设备的桨杆装置，其特征在于，所述桨杆组件(111)包括：至少一个的桨杆(1111)，且两所述桨杆(1111)相互平行设置；
固接于两所述桨杆(1111)前端的连接板(1112)；
固接于两所述桨杆(1111)之间且位于所述桨杆(1111)中部的第一保持板(1113)；以及
固接于两所述桨杆(1111)之间且位于所述桨杆(1111)末端的第二保持板(1114)。
3.如权利要求2所述的适用于PECVD设备的桨杆装置，其特征在于，两所述桨杆(1111)的末端还设有石墨舟导向板(1115)。
4.如权利要求1所述的适用于PECVD设备的桨杆装置，其特征在于，所述承重杆夹紧组件(112)包括：承重杆(1121)；以及与所述承重杆相固接的至少一组的夹紧组件(1122)。
5.如权利要求4所述的适用于PECVD设备的桨杆装置，其特征在于，所述夹紧组件(1122)包括：上夹紧块(1122a)；
与所述上夹紧块(1122a)相匹配的下夹紧块(1122b)；以及
设于所述上夹紧块(1122a)及所述下夹紧块(1122b)之间的上嵌块(1122c)和下嵌块(1122d)；
其中，所述上夹紧块(1122a)及所述下夹紧块(1122b)之间预留间隙，所述上嵌块(1122c)和所述下嵌块(1122d)预留间隙。
6.如权利要求4所述的适用于PECVD设备的桨杆装置，其特征在于；所述承重杆(1121)通过连接卡箍(114)和所述桨杆(1111)相固接。
7.如权利要求1所述的适用于PECVD设备的桨杆装置，其特征在于，所述高度调节组件(113)包括：基准板(1131)；
设于所述基准板(1131)末端的至少一根的调节螺栓(1132)；以及
设于所述基准板(1131)末端的至少一根的限位螺栓(1133)。
8.如权利要求7所述的适用于PECVD设备的桨杆装置，其特征在于，所述调节螺栓(1132)上下端部分别与基准板(1131)及上夹紧块(1122a)螺接，所述限位螺栓(1133)的底端与上夹紧块(1122a)螺接，顶端与基准板(1131)接触连接。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
