[实用新型]一种高密度分布式柔性压力传感器

说明书

本实用新型涉及传感器技术领域，具体涉及一种高密度分布式柔性压力传感器，包括：行部分和列部分；其行部分包括：行薄膜基材、通过丝网印刷方式印刷在行薄膜基材上的行电极层和印刷在行电极层上的行感应层；列部分包括：列薄膜基材、通过丝网印刷方式印刷在列薄膜基材上的列电极层和印刷在列电极层上的列感应层；行感应层、列感应层之间的非感应区设有粘结层；以及行电极层与列电极层之间的交叉点形成各压力感应点；本实用新型的高密度分布式柔性压力传感器通过丝网印刷的方式制作，不仅快速高效，且制作成本低；另外，本压力传感器最高密度能够实现100个压力感应点/平方厘米，最薄可以达到0.05mm，为高分辨率压力信息获取提供了解决方案。

技术领域

本实用新型属于传感器技术领域，具体涉及一种高密度分布式柔性压力传感器。

背景技术

传感器是一种感知终端，随着科技技术的发展，人们对传感器的性能和特性等方面的需求越来高，比如可穿戴电子产品，机器人触觉感知等对传感器提出更高的要求，传感器需要具备柔性、超薄、灵敏等性能。所以，人们关注的焦点越来越投向柔性压力传感器能否兼具柔韧性和准确测量压力分布信息这些功能。

目前大部分测试压力的装置基本基于应变片或者MEMS传感器来实现，这种方式对应单点检测可以做到较高的精度，但是不适合高密度阵列式布局，而且成本较高。也有用插指电极方式制作的柔性压力传感器，限于每个点都有两根电极引出线，容易出现电极排布困难，很难做好高密度分布，也有通过导电纤维制作的柔性阵列压力传感器，存在精度不够的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种高密度分布式柔性压力传感器，以实现对高分辨率压力信息的检测。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种高密度分布式柔性压力传感器，包括：行部分和列部分；其中行部分包括：行薄膜基材、通过丝网印刷方式印刷在行薄膜基材上的行电极层和印刷在行电极层上的行感应层；列部分包括：列薄膜基材、通过丝网印刷方式印刷在列薄膜基材上的列电极层和印刷在列电极层上的列感应层；行感应层、列感应层之间的非感应区设有粘结层；以及行电极层与列电极层之间的交叉点形成各压力感应点。

进一步，所述压力感应点的面积最小为1mm²。

进一步，所述行薄膜基材的材质为PET聚酯薄膜、PI膜或PEN膜中的其中一种。

进一步，所述列薄膜基材的材质为PET聚酯薄膜、PI膜或PEN膜中的其中一种。

进一步，行电极层和列电极层的材料均采用导电银浆。

进一步，行感应层和列感应层的材料均采用半导体碳浆。

进一步，所述粘接层采用封装胶。

本实用新型的有益效果是，本实用新型的高密度分布式柔性压力传感器通过丝网印刷的方式制作，不仅快速高效，且制作成本低；另外，本高密度分布式柔性压力传感器最高密度能够实现100个压力感应点/平方厘米，最薄可以达到0.05mm，为高分辨率压力信息获取提供了解决方案。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的高密度分布式柔性压力传感器的结构示意图；

图2是本实用新型的高密度分布式柔性压力传感器的电极阵列结构示意图；

图3是本实用新型的高密度分布式柔性压力传感器的压力感应点的放大图；

图4是本实用新型的高密度分布式柔性压力传感器受到的外部压力与感应区电阻之间的关系图；

图5是本实用新型的高密度分布式柔性压力传感器受到的外部压力与感应区电阻的倒数之间的关系图。

其中：